[实用新型]一种流量计校准装置及设有该装置的PECVD设备有效
| 申请号： | 201621310128.9 | 申请日： | 2016-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN206321317U | 公开（公告）日： | 2017-07-11 |
| 发明（设计）人： | 徐云洲;张伟 | 申请（专利权）人： | 徐州鑫宇光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | G01F25/00 | 分类号： | G01F25/00;C23C16/50;C23C16/52 |
| 代理公司： | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙)32251 | 代理人： | 陆金星 |
| 地址： | 221000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种流量计校准装置，包括气体钢瓶、第一调节阀、第一压力表、第二调节阀、第二压力表、质量流量计和显示装置，所述气体钢瓶通过管路与第一调节阀的一端连接，所述第一调节阀的另一端通过管路与所述第一压力表的一端连接，所述第一压力表的另一端通过管路与第二调节阀的一端连接，所述第二调节阀的另一端通过管路与所述第二压力表的一端连接，所述第二压力表的另一端通过管路与质量流量计的一端连接，所述质量流量计的另一端设有第一气体接口，所述显示装置与质量流量计连接。本实用新型相比于现有单一的检测方式检测精度大大提高，避免了PECVD设备因流量偏差导致工艺波动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 流量计 校准 装置 设有 pecvd 设备 | ||
【主权项】：
一种流量计校准装置，其特征在于：包括气体钢瓶、第一调节阀、第一压力表、第二调节阀、第二压力表、质量流量计和显示装置，所述气体钢瓶通过管路与第一调节阀的一端连接，所述第一调节阀的另一端通过管路与所述第一压力表的一端连接，所述第一压力表的另一端通过管路与第二调节阀的一端连接，所述第二调节阀的另一端通过管路与所述第二压力表的一端连接，所述第二压力表的另一端通过管路与质量流量计的一端连接，所述质量流量计的另一端设有第一气体接口，所述显示装置与质量流量计连接。
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