[实用新型]一种流量计校准装置及设有该装置的PECVD设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及光伏组件技术领域，具体涉及一种流量计校准装置及设有该装置的PECVD设备。

背景技术

镀膜工序是指在制备太阳能电池过程中制备氮化硅薄膜，其作为晶体硅太阳能电池的光学减反射膜，同时也起到表面钝化和体钝化的作用，以提高太阳能电池的转换效率。镀膜主要以硅烷、氨气在微波或射频条件下激发成等离子体，在硅片表面沉积一层均匀的淡化硅薄膜。但随着生产过程进行，控制硅烷、氨气的气体质量流量控制器（MFC）出现流量偏差，影响镀膜工艺稳定性及膜层均匀性。

现在很多流量计粗略的校准方式为通过压强来判断，即在恒定压强下通入特定值的气体流量，根据压强的波动判断流量计的准确性。这种方法优势是操作简单方便，校准时间短。但是其缺点是无法精确判断流量计的偏差，校准毫无意义。

有鉴于此，开发一种流量计校准装置及设有该装置的PECVD设备，解决现有技术中校准精度低，无法精确判断流量计偏差的缺陷，显然是有必要的。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种流量计校准装置及设有该装置的PECVD设备。

为达到上述发明目的，本实用新型采用的技术方案是：一种流量计校准装置，包括气体钢瓶、第一调节阀、第一压力表、第二调节阀、第二压力表、质量流量计和显示装置，

所述气体钢瓶通过管路与第一调节阀的一端连接，所述第一调节阀的另一端通过管路与所述第一压力表的一端连接，所述第一压力表的另一端通过管路与第二调节阀的一端连接，所述第二调节阀的另一端通过管路与所述第二压力表的一端连接，所述第二压力表的另一端通过管路与质量流量计的一端连接，所述质量流量计的另一端设有第一气体接口，

所述显示装置与质量流量计连接。

优选地，所述显示装置为流量显示仪。

优选地，所述流量计校准装置还设有与之相配合使用的移动支架。

优选地，所述气体钢瓶为N₂钢瓶。

本实用新型还提供了一种设有流量计校准装置的PECVD设备，包括气箱，还设有上述的流量计校准装置，所述气箱设有与第一气体接口相串联配合使用的第二气体接口。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

1.本实用新型相比于现有单一的检测方式检测精度大大提高，避免了PECVD设备因流量偏差导致工艺波动；

2.本实用新型可以有效降低PECVD色差返工，提高了生产效率。

附图说明

图1是本实用新型实施例一的校准装置的结构框图。

图2是本实用新型实施例一的PECVD设备的结构框图。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述：

实施例一：

参见图1所示，一种流量计校准装置，包括N₂钢瓶、第一调节阀、第一压力表、第二调节阀、第二压力表、质量流量计和显示装置，

N₂钢瓶通过管路与第一调节阀的一端连接，第一调节阀的另一端通过管路与所述第一压力表的一端连接，第一压力表的另一端通过管路与第二调节阀的一端连接，第二调节阀的另一端通过管路与所述第二压力表的一端连接，第二压力表的另一端通过管路与质量流量计的一端连接，质量流量计的另一端设有第一气体接口，

显示装置与质量流量计连接。

本实施例中，显示装置为流量显示仪。

流量计校准装置在使用的之前，将第二压力表的数值调制3bar。

参见图2所示，一种设有流量计校准装置的PECVD设备，包括气箱，还设有上述的流量计校准装置，气箱设有与第一气体接口相串联配合使用的第二气体接口。

使用的时候将气箱与流量计校准装置串联起来，并通入氮气，对比两者之间的数值差异，精确判断流量计偏差，然后对流量计进行校准。若两者之间存在差异，可通过调节设备的MFC修正因子对MFC进行修正，直至MFC准确为止。