[实用新型]一种流量计校准装置及设有该装置的PECVD设备有效
| 申请号： | 201621310128.9 | 申请日： | 2016-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN206321317U | 公开（公告）日： | 2017-07-11 |
| 发明（设计）人： | 徐云洲;张伟 | 申请（专利权）人： | 徐州鑫宇光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | G01F25/00 | 分类号： | G01F25/00;C23C16/50;C23C16/52 |
| 代理公司： | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙)32251 | 代理人： | 陆金星 |
| 地址： | 221000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 流量计 校准 装置 设有 pecvd 设备 | ||
【权利要求书】：
1.一种流量计校准装置，其特征在于：包括气体钢瓶、第一调节阀、第一压力表、第二调节阀、第二压力表、质量流量计和显示装置，
所述气体钢瓶通过管路与第一调节阀的一端连接，所述第一调节阀的另一端通过管路与所述第一压力表的一端连接，所述第一压力表的另一端通过管路与第二调节阀的一端连接，所述第二调节阀的另一端通过管路与所述第二压力表的一端连接，所述第二压力表的另一端通过管路与质量流量计的一端连接，所述质量流量计的另一端设有第一气体接口，
所述显示装置与质量流量计连接。
2.根据权利要求1所述的流量计校准装置，其特征在于：所述显示装置为流量显示仪。
3.根据权利要求1所述的流量计校准装置，其特征在于：所述流量计校准装置还设有与之相配合使用的移动支架。
4.根据权利要求1所述的流量计校准装置，其特征在于：所述气体钢瓶为N2钢瓶。
5.一种设有流量计校准装置的PECVD设备，包括气箱，其特征在于：还设有如权利要求1~4任意一项所述的流量计校准装置，所述气箱设有与第一气体接口相串联配合使用的第二气体接口。
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