[实用新型]微小电子元件测试分光设备

摘要

一种微小电子元件测试分光设备，包括机架、上料模块、转盘模块、测试模块，以及落料模块，转盘模块包括侧吸附式吸嘴，侧吸附式吸嘴包括吸嘴本体和吸嘴托板，吸嘴本体设置在吸嘴托板的上表面，且吸嘴托板部分伸出于吸嘴本体的前端，吸嘴本体内设有气体通道，气体通道的被测元件接触端所在的平面与吸嘴托板相垂直，吸嘴托板的至少与被检测元件接触的部位是由透光材料制成的；测试模块包括两两垂直的X轴驱动单元、Y轴驱动单元和Z轴驱动单元，以及设在Z轴驱动单元上的探针检测组件，探针检测组件包括探针固定件、数根探针，以及滑轨，数根所述探针的下端面在同一水平面上且与待测试样品上的铜箔点相吻合；Z轴驱动单元工作时，带动探针沿滑轨移动从而接触或者远离待测试样品。本实用新型具有测试精度更高的、运行更加稳定的、适合于微小材料的LED芯片的测试的优点。

主权项

一种微小电子元件测试分光设备，包括机架（1）、设置在机架（1）上的上料模块（2）、设置在上料模块（2）后的转盘模块（3）、对转盘模块（3）上的电子元件进行测试的测试模块（4），以及落料模块（5），其特征在于，转盘模块（3）包括数个侧吸附式吸嘴（30），侧吸附式吸嘴（30）包括吸嘴本体（302）和用于放置被检测元件的吸嘴托板（303），所述吸嘴本体（302）设置在所述吸嘴托板（303）的上表面，且所述吸嘴托板（303）部分伸出于所述吸嘴本体（302）的前端，所述吸嘴本体（302）内设有用于与气源相接的气体通道（321），所述气体通道（321）的被测元件接触端（3210）所在的平面与吸嘴托板（303）相垂直，所述吸嘴托板（303）的至少与被检测元件接触的部位是由透光材料制成的；测试模块（4）包括两两垂直的X轴驱动单元、Y轴驱动单元和Z轴驱动单元（41），以及设在Z轴驱动单元上的探针检测组件（40），所述探针检测组件（40）包括探针固定件（402）、数根探针（401），以及供探针固定件（402）移动的滑轨（403），数根所述探针（401）的下端面在同一水平面上且与待测试样品上的铜箔点相吻合；所述Z轴驱动单元（41）工作时，带动探针（401）沿滑轨（403）移动从而接触或者远离待测试样品。