[实用新型]微小电子元件测试分光设备

权利要求书

1.一种微小电子元件测试分光设备，包括机架（1）、设置在机架（1）上的上料模块（2）、设置在上料模块（2）后的转盘模块（3）、对转盘模块（3）上的电子元件进行测试的测试模块（4），以及落料模块（5），其特征在于，

转盘模块（3）包括数个侧吸附式吸嘴（30），侧吸附式吸嘴（30）包括吸嘴本体（302）和用于放置被检测元件的吸嘴托板（303），所述吸嘴本体（302）设置在所述吸嘴托板（303）的上表面，且所述吸嘴托板（303）部分伸出于所述吸嘴本体（302）的前端，所述吸嘴本体（302）内设有用于与气源相接的气体通道（321），所述气体通道（321）的被测元件接触端（3210）所在的平面与吸嘴托板（303）相垂直，所述吸嘴托板（303）的至少与被检测元件接触的部位是由透光材料制成的；

测试模块（4）包括两两垂直的X轴驱动单元、Y轴驱动单元和Z轴驱动单元（41），以及设在Z轴驱动单元上的探针检测组件（40），所述探针检测组件（40）包括探针固定件（402）、数根探针（401），以及供探针固定件（402）移动的滑轨（403），数根所述探针（401）的下端面在同一水平面上且与待测试样品上的铜箔点相吻合；所述Z轴驱动单元（41）工作时，带动探针（401）沿滑轨（403）移动从而接触或者远离待测试样品。

2.根据权利要求1所述的微小电子元件测试分光设备，其特征在于：在气体通道的端口（3211）的一侧设有用于限定被测元件的位置的挡块（6）。

3.根据权利要求1所述的微小电子元件测试分光设备，其特征在于：所述吸嘴本体（302）通过第一螺钉（71）固定在所述吸嘴托板（303）上。

4.根据权利要求1、2或3所述的微小电子元件测试分光设备，其特征在于：所述吸嘴托板（303）包括底板（3031）、垫圈（3033）和用于与被检测元件接触的接触板（3032），所述底板（3031）上设有与所述接触板（3032）相吻合的容置部（310），所述接触板（3032）通过所述垫圈（3033）设置在所述容置部（310）内。

5.根据权利要求4所述的微小电子元件测试分光设备，其特征在于：所述接触板（3032）是由透光材料制成的。

6.根据权利要求4所述的微小电子元件测试分光设备，其特征在于：所述底板（3031）是由陶瓷材料制成的。

7.根据权利要求4所述的微小电子元件测试分光设备，其特征在于：所述底板（3031）和接触板（3032）上分别设有销孔，所述接触板（3032）通过插销固定在所述底板（3031）的容置部（310）内。

8.根据权利要求1、2或3所述的微小电子元件测试分光设备，其特征在于：所述Z轴驱动单元（41）包括伺服电机（411）和与伺服电机（411）的输出轴连接的凸轮结构（412），所述凸轮结构（412）在伺服电机（411）的驱动下带动探针（401）沿滑轨（403）移动。