[实用新型]一种线性蒸发源有效
| 申请号： | 201621305299.2 | 申请日： | 2016-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN206289295U | 公开（公告）日： | 2017-06-30 |
| 发明（设计）人： | 曾兴中;王宝;陈红晓;蔡晓义;柯贤军;苏君海 | 申请（专利权）人： | 信利（惠州）智能显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司44202 | 代理人： | 温旭 |
| 地址： | 516029 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及蒸发源技术领域，尤其涉及一种线性蒸发源，包括密封坩埚、喷嘴、以及在所述坩埚内设置的混合板和分流板；所述喷嘴与所述坩埚内连通；所述混合板和分流板的侧边与所述坩埚的内侧壁密封连接；在所述混合板的中心位置开设有连通所述加热腔和混合腔的通道；在所述分流板上开设有连通所述混合腔和分流腔的通孔。本实用新型的发明目的在于提供一种镀膜均匀性好的线性蒸发源，采用本实用新型提供的技术方案提升蒸镀均匀性，本实用新型结构简单，设备制造成本低，可适用于工业化大规模生产应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 线性 蒸发 | ||
【主权项】：
一种线性蒸发源，其特征在于：包括用于加热有机材料的密封坩埚、多个设置于所述坩埚上开口的喷嘴、以及在所述坩埚内设置的、且与多个喷嘴形成的平面平行的混合板和分流板；所述喷嘴与所述坩埚内连通；所述混合板和分流板的侧边与所述坩埚的内侧壁密封连接，并自所述坩埚的底部至上开口依次设置，将所述坩埚内分隔成加热腔、混合腔和分流腔；在所述混合板的中心位置开设有连通所述加热腔和混合腔的通道；在所述分流板上均匀开设有连通所述混合腔和分流腔的通孔。
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