[实用新型]一种线性蒸发源

说明书

技术领域

本实用新型涉及蒸发源技术领域，尤其涉及一种线性蒸发源。

背景技术

在大尺寸AMOLED(Active-matrix Organic Light-Emitting Diode,有机发光二极管)生产中，需要对AMOLED进行蒸镀加工。蒸镀是指将待成膜的物质置于真空中进行蒸发或升华，使之在工件或基片表面析出的过程。蒸镀设备主要以线性蒸发源蒸镀为主，其主要方式是在高真空条件下通过加热丝加热对线性蒸发源内材料进行升温，使有机材料从固态变成气态，气态有机材料通过蒸发源的喷嘴中喷射出去，气态有机材料遇到坩埚上方的常温基板后，遇冷凝华在玻璃基板表面，完成蒸镀加工。

线性蒸发源的加热方式一般为恒流加热，但因坩埚不同位置电阻丝阻值存在差异性，在坩埚加热过程中坩埚不同位置的热量和温度存在差异性，从而使坩埚不同位置升华的有机气体分子数量和温度存在差异性。有机分子热动能不一致，从而使不同位置喷嘴喷出的有机分子蒸镀速率不同，导致镀膜均匀性较差。

实用新型内容

本实用新型的发明目的在于提供一种镀膜均匀性好的线性蒸发源，采用本实用新型提供的技术方案解决了坩埚不同位置的热量和温度存在差异性导致喷嘴喷出的有机分子蒸镀速率不同的技术问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种线性蒸发源，包括用于加热有机材料的密封坩埚、多个设置于所述坩埚上开口的喷嘴、以及在所述坩埚内设置的、且与多个喷嘴形成的平面平行的混合板和分流板；所述喷嘴与所述坩埚内连通；所述混合板和分流板的侧边与所述坩埚的内侧壁密封连接，并自所述坩埚的底部至上开口依次设置，将所述坩埚内分隔成加热腔、混合腔和分流腔；在所述混合板的中心位置开设有连通所述加热腔和混合腔的通道；在所述分流板上均匀开设有连通所述混合腔和分流腔的通孔。

优选的，所述混合板和分流板的形状与所述坩埚的水平截面形状相一致。

优选的，所述混合板和分流板的形状为长方形。

优选的，所述混合板的下部镂空，所述通道开设于上部的中间位置；或者上部镂空，所述通道开设于下部的中间位置。

优选的，在所述混合板上的通道的尺寸为所述混合板平面面积的5％～30％。

优选的，所述通道的形状为圆形、椭圆和多边形中的一种。

优选的，所述分流板的下部镂空，所述通孔分布与所述分流板的下部，呈中间对称分布。

优选的，所述通孔的大小为2mm～50mm。

优选的，所述通孔的形状为圆形、椭圆和多边形中的一种或多种。

优选的，所述混合板和分流板材质为铜或者钛。

由上可见，应用本实用新型实施例的技术方案，有如下有益效果：本实用新型提供的线性蒸发源在混合板中心位置开设有通道，蒸镀气体通过该通道达到平衡蒸发源不同位置因加热不均导致的蒸镀气体的温度差的效果，使混合腔内的有机蒸汽温度保持一致，然后通过上部的分流板来分流混合后的有机蒸汽，使有机蒸汽从喷嘴吐出后，沉积的有机薄膜更均匀，提升蒸镀均匀性；镀膜均匀性可达到2％以内；本实用新型结构简单，设备制造成本低，可适用于工业化大规模生产应用。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对本实用新型实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一部分实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例剖视图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚地描述。

线性蒸发源的加热方式一般为恒流加热，在坩埚加热过程中坩埚不同位置的热量和温度存在差异性，从而使坩埚不同位置升华的有机气体分子数量和温度存在差异性。有机分子热动能不一致，从而使不同位置喷嘴喷出的有机分子蒸镀速率不同，导致镀膜均匀性较差。

请参见图1，为了解决上述技术问题，本实施例公开了一种线性蒸发源，其包括坩埚10、喷嘴20、混合板30和分流板40。

坩埚10内的底部用于放置并加热有机材料，令有机材料从固态升华成气态，为避免有机气体泄漏，该坩埚10需是密封设置。

喷嘴20设置于坩埚10的上开口处，并与坩埚10内连通，喷嘴20的数量为多个，且形成一个平面。