[实用新型]一种线性蒸发源有效
| 申请号： | 201621305299.2 | 申请日： | 2016-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN206289295U | 公开（公告）日： | 2017-06-30 |
| 发明（设计）人： | 曾兴中;王宝;陈红晓;蔡晓义;柯贤军;苏君海 | 申请（专利权）人： | 信利（惠州）智能显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司44202 | 代理人： | 温旭 |
| 地址： | 516029 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 线性 蒸发 | ||
1.一种线性蒸发源，其特征在于：
包括用于加热有机材料的密封坩埚、多个设置于所述坩埚上开口的喷嘴、以及在所述坩埚内设置的、且与多个喷嘴形成的平面平行的混合板和分流板；
所述喷嘴与所述坩埚内连通；
所述混合板和分流板的侧边与所述坩埚的内侧壁密封连接，并自所述坩埚的底部至上开口依次设置，将所述坩埚内分隔成加热腔、混合腔和分流腔；
在所述混合板的中心位置开设有连通所述加热腔和混合腔的通道；
在所述分流板上均匀开设有连通所述混合腔和分流腔的通孔。
2.根据权利要求1所述的一种线性蒸发源，其特征在于：
所述混合板和分流板的形状与所述坩埚的水平截面形状相一致。
3.根据权利要求2所述的一种线性蒸发源，其特征在于：
所述混合板和分流板的形状为长方形。
4.根据权利要求1所述的一种线性蒸发源，其特征在于：
所述混合板的下部镂空，所述通道开设于上部的中间位置；或者上部镂空，所述通道开设于下部的中间位置。
5.根据权利要求4所述的一种线性蒸发源，其特征在于：
在所述混合板上的通道的尺寸为所述混合板平面面积的5％～30％。
6.根据权利要求5所述的一种线性蒸发源，其特征在于：
所述通道的形状为圆形、椭圆和多边形中的一种。
7.根据权利要求1所述的一种线性蒸发源，其特征在于：
所述分流板的下部镂空，所述通孔分布与所述分流板的下部，呈中间对称分布。
8.根据权利要求7所述的一种线性蒸发源，其特征在于：
所述通孔的大小为2mm～50mm。
9.根据权利要求8所述的一种线性蒸发源，其特征在于：
所述通孔的形状为圆形、椭圆和多边形中的一种或多种。
10.根据权利要求1所述的一种线性蒸发源，其特征在于：
所述混合板和分流板材质为铜或钛。
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