[实用新型]电子元件表面检测设备有效
| 申请号： | 201621297903.1 | 申请日： | 2016-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN206399849U | 公开（公告）日： | 2017-08-11 |
| 发明（设计）人： | 丁万春;范伟 | 申请（专利权）人： | 南通通富微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙)44280 | 代理人： | 李庆波 |
| 地址： | 226000 江苏省南通市苏通科技产*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种电子元件表面检测设备，该检测设备包括载台、2D检测装置以及3D检测装置；其中，载台的顶面为用于承载待检测电子元件的承载面，承载面的上方设有第一驱动单元和第二驱动单元，第一驱动单元用于带动2D检测装置沿垂直于承载面方向移动，第二驱动单元用于带动3D检测装置沿垂直于承载面方向移动，第一驱动单元和第二驱动单元的移动动作被单独控制，2D检测装置和3D检测装置在对焦完成后，同时扫描待检测电子元件，并一次生成待检测电子元件表面的2D和3D性能参数。该电子元件表面检测设备通过2D和3D检测装置同时进行扫描且同时输出待检测电子元件表面的性能参数，简化了电子元件表面检测过程的步骤，进而提高产能。 | ||
| 搜索关键词： | 电子元件 表面 检测 设备 | ||
【主权项】：
一种电子元件表面检测设备，其特征在于，所述检测设备包括载台、2D检测装置以及3D检测装置；其中，所述载台的顶面为用于承载待检测电子元件的承载面，所述承载面的上方设有第一驱动单元和第二驱动单元，所述第一驱动单元用于带动所述2D检测装置沿垂直于所述承载面方向移动，所述第二驱动单元用于带动所述3D检测装置沿垂直于所述承载面方向移动，所述第一驱动单元和所述第二驱动单元的移动动作被单独控制，所述2D检测装置和所述3D检测装置在对焦完成后，同时扫描待检测电子元件，并一次生成所述待检测电子元件表面的2D和3D性能参数。
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