[实用新型]电子元件表面检测设备

权利要求书

1.一种电子元件表面检测设备，其特征在于，所述检测设备包括载台、2D检测装置以及3D检测装置；其中，所述载台的顶面为用于承载待检测电子元件的承载面，所述承载面的上方设有第一驱动单元和第二驱动单元，所述第一驱动单元用于带动所述2D检测装置沿垂直于所述承载面方向移动，所述第二驱动单元用于带动所述3D检测装置沿垂直于所述承载面方向移动，所述第一驱动单元和所述第二驱动单元的移动动作被单独控制，所述2D检测装置和所述3D检测装置在对焦完成后，同时扫描待检测电子元件，并一次生成所述待检测电子元件表面的2D和3D性能参数。

2.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述2D检测装置包括2D光源以及2D检测传感器。

3.根据权利要求2所述的检测设备，其特征在于，所述2D光源包括2D明场光源以及2D暗场光源。

4.根据权利要求2所述的检测设备，其特征在于，所述3D检测装置包括3D光源以及3D检测传感器。

5.根据权利要求4所述的检测设备，其特征在于，所述3D检测传感器的数量为两个，且分别与所述第二驱动单元固定连接，所述两个3D检测传感器从不同方向对待检测电子元件表面进行扫描，进而获得所述待检测电子元件表面的3D信息。

6.根据权利要求4所述的检测设备，其特征在于，所述2D光源和所述3D光源均为高频闪烁光源。

7.根据权利要求6所述的检测设备，其特征在于，所述检测设备还包括光源协调器，所述光源协调器用于控制所述2D光源和所述3D光源的闪烁频率，以使所述2D光源和所述3D光源发出的光交替照射于待检测电子元件表面。

8.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述第一驱动单元包括第一驱动电机、第一传动机构以及第一驱动板，所述2D检测装置固设于所述第一驱动板上，所述第一驱动板通过所述第一传动机构与所述第一驱动电机连接，所述第一驱动电机通过所述第一传动机构带动设有所述2D检测装置的第一驱动板沿垂直于所述载台承载面的方向移动。

9.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述第二驱动单元包括第二驱动电机、第二传动机构以及第二驱动板，所述3D检测装置固设于所述第二驱动板上，所述第二驱动板通过所述第二传动机构与所述第二驱动电机连接，所述第二驱动电机通过所述第二传动机构带动设有所述3D检测装置的第二驱动板沿垂直于所述载台承载面的方向移动。

10.根据权利要求1-9任一项所述的检测设备，其特征在于，检测设备进一步包括载台移动机构，所述载台移动机构与所述载台驱动连接，用于控制所述载台在水平面内移动。