[实用新型]一种晶棒固定装置有效
申请号: | 201621296061.8 | 申请日: | 2016-11-29 |
公开(公告)号: | CN206186139U | 公开(公告)日: | 2017-05-24 |
发明(设计)人: | 周虹;吴镐硕 | 申请(专利权)人: | 上海新昇半导体科技有限公司 |
主分类号: | B28D7/04 | 分类号: | B28D7/04 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人: | 余昌昊 |
地址: | 201306 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种晶棒固定装置,用于晶棒切割过程中将晶棒固定,包括工件板、树脂条以及连接部件,所述连接部件将所述树脂条固定在所述工件板上。本申请提供的晶棒固定装置利用连接部件实现树脂条与工件板的连接,从而省去脱胶工序,方便了树脂条的更换,也有效的保护了工件板,提高了工件板的使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 一种 固定 装置 | ||
【主权项】:
一种晶棒固定装置,其特征在于,包括工件板、树脂条以及连接部件,所述连接部件将所述树脂条固定在所述工件板上。
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