[实用新型]一种晶棒固定装置

权利要求书

1.一种晶棒固定装置，其特征在于，包括工件板、树脂条以及连接部件，所述连接部件将所述树脂条固定在所述工件板上。

2.如权利要求1所述的晶棒固定装置，其特征在于，所述连接部件包括若干个螺栓。

3.如权利要求2所述的晶棒固定装置，其特征在于，所述工件板上具有若干个通孔，所述树脂条上具有若干个螺纹孔，每个螺栓通过一个通孔和一个螺纹孔将所述树脂条固定在所述工件板上。

4.如权利要求2所述的晶棒固定装置，其特征在于，所述连接部件还包括一钢板，所述树脂条固定于所述钢板上，所述工件板上具有若干个通孔，所述钢板上具有若干个螺纹孔，每个螺栓通过一个通孔和一个螺纹孔将所述钢板固定在所述工件板上；所述树脂条利用胶水粘接在所述钢板上。

5.如权利要求1所述的晶棒固定装置，其特征在于，所述连接部件包括：第一夹持单元、第二夹持单元、推进装置以及锁紧桩，所述第一夹持单元与所述锁紧桩分别设置于所述工件板的两侧，并且相对设置，所述第二夹持单元位于所述第一夹持单元和所述锁紧桩之间，并通过所述推进装置连接在所述锁紧桩上。

6.如权利要求5所述的晶棒固定装置，其特征在于，所述第一夹持单元和所述第二夹持单元均包括一锯齿状侧面，所述第一夹持单元的锯齿状侧面朝向所述第二夹持单元的锯齿状侧面。

7.如权利要求5或6所述的晶棒固定装置，其特征在于，所述第二夹持单元具有一凹陷部，所述锁紧桩具有一螺纹孔，所述推进装置为一锁紧旋杆，所述锁紧旋杆包括依次连接的手柄、螺纹杆以及旋杆凸起部；

其中，所述螺纹杆旋合在所述螺纹孔中，所述旋杆凸起部设置于所述凹陷部中。

8.如权利要求5或6所述的晶棒固定装置，其特征在于，所述第二夹持单元具有一凹陷部，所述推进装置为一气缸，所述气缸包括一活塞杆，所述活塞杆的端部具有活塞杆凸起部；

其中，所述气缸固定在所述锁紧桩上，所述活塞杆凸起部设置于所述凹陷部中。

9.如权利要求5所述的晶棒固定装置，其特征在于，所述第一夹持单元与所述锁紧桩分别通过螺栓固定设置于所述工件板的两侧。

10.如权利要求5所述的晶棒固定装置，其特征在于，所述第一夹持单元与所述锁紧桩分别焊接在所述工件板的两侧。