[实用新型]一种光刻机的硅片输送装置

摘要

本实用新型公开了一种光刻机的硅片输送装置，包括机架，机架上滑动安装有第一输送架和第二输送架，第一输送架包括水平滑座，水平滑座上竖直滑动安装有竖直连杆竖直连杆的顶部固定有吸片架，第一输送架的吸片架比第二输送架的吸片架的高度低，吸片架上设置有避让口，吸片架上设置有与抽吸系统连通的吸片孔，水平滑座与固定于机架上的水平滑动动力装置连接，竖直连杆与固定于水平滑座上的升降动力装置连接，机架上设置将第一输送架或者第二输送架定位于取片工位的取片定位装置、将第一输送架或第二输送架定位于校正工位的校正定位装置。该硅片输送装置可以准确的输送硅片并且合理的利用等待时间，提高硅片的输送效率。

主权项

一种光刻机的硅片输送装置，包括机架，其特征在于：所述机架上设置有取片工位和校正工位，所述机架上滑动安装有相互错开第一输送架和第二输送架，所述第一输送架和第二输送架滑动安装于取片工位与校正工位之间，所述第一输送架和第二输送架的结构相同，所述第一输送架包括水平滑座，所述水平滑座水平滑动安装于机架上，所述水平滑座上竖直滑动安装有竖直连杆，所述竖直连杆的顶部固定有水平设置的吸片架，第一输送架的吸片架比第二输送架的吸片架的高度低，所述吸片架上设置有避让口，所述吸片架上设置有与抽吸系统连通的吸片孔，所述水平滑座与固定于机架上的水平滑动动力装置连接，所述竖直连杆与固定于水平滑座上的升降动力装置连接，所述机架上设置将第一输送架或者第二输送架定位于取片工位的取片定位装置、将第一输送架或第二输送架定位于校正工位的校正定位装置。