[实用新型]一种光刻机的硅片输送装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种输送装置，尤其涉及一种光刻机的硅片输送装置。

背景技术

在集成电路芯片的生产过程中，芯片的设计图形在硅片表面光刻胶上的曝光转印(光刻)是其中最重要的工序之一，该工序所用的设备称为光刻机(曝光机)。光刻机是集成电路加工过程中最关键的设备。而光刻机的光刻过程中，需要利用取片装置将片盒中的硅片逐片取出，而然后在传递硅片输送装置上，硅片输送装置将硅片送至校正平台上进行硅片校正，最后再利用另一套送片机构将硅片送至光刻工位光刻，光刻完成后，又逆向返回最终通过取片装置将硅片回送至片盒中。

然目前的硅片输送装置存在以下缺点：1.目前的硅片输送装置只是水平滑动进行工位之间的往复运行，需要取片装置去片盒中取出硅片，然后取片装置将硅片放置在硅片输送装置上；取片装置的动作过程复杂，造成取片装置的取片或插片位置不准，影响光刻的正常进行；2.目前的硅片输送装置输送效率非常低，硅片输送装置将硅片送至校正工位校正时，硅片输送装置需要处于校正工位配合校正，也需要等待再次输送已光刻的硅片，因此，整个工作硅片输送装置输送的效率非常低，等待的时间长，进而影响了整个硅片的光刻效率。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种光刻机的硅片输送装置，该硅片输送装置可以准确的输送硅片并且合理的利用等待时间，提高硅片的输送效率。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：一种光刻机的硅片输送装置，包括机架，所述机架上设置有取片工位和校正工位，所述机架上滑动安装有相互错开第一输送架和第二输送架，所述第一输送架和第二输送架滑动安装于取片工位与校正工位之间，所述第一输送架和第二输送架的结构相同，所述第一输送架包括水平滑座，所述水平滑座水平滑动安装于机架上，所述水平滑座上竖直滑动安装有竖直连杆，所述竖直连杆的顶部固定有水平设置的吸片架，第一输送架的吸片架比第二输送架的吸片架的高度低，所述吸片架上设置有避让口，所述吸片架上设置有与抽吸系统连通的吸片孔，所述水平滑座与固定于机架上的水平滑动动力装置连接，所述竖直连杆与固定于水平滑座上的升降动力装置连接，所述机架上设置将第一输送架或者第二输送架定位于取片工位的取片定位装置、将第一输送架或第二输送架定位于校正工位的校正定位装置。

作为一种优选的方案，所述吸片架包括与竖直连杆顶部固定连接的连接杆，连接杆上固定有两根与水平滑座滑动方向垂直的支撑杆，所述两根支撑杆和连接杆构成了矩形框形，所述的吸片孔设置于支撑杆上，两根支撑杆之间形成了避让口。

作为一种优选的方案，所述两个支撑杆的长度不同。

作为一种优选的方案，所述取片定位装置包括设置于机架上的取片定位块，所述取片定位块位于取片工位远离校正工位的一侧，所述取片定位块与第一输送架或第二输送架的侧面配合。

作为一种优选的方案，所述取片定位块上设置有取片接触开关，所述取片接触开关与第一输送架或第二输送架的侧面配合。

作为一种优选的方案，所述校正定位装置包括设置于机架上的校正定位块，所述校正定位块位于校正工位远离取片工位的一侧，所述校正定位块与第一输送架或第二输送架的另一个侧面配合。

作为一种优选的方案，所述校正定位块上设置有校正接触开关，所述校正接触开关与第一输送架或第二输送架的侧面配合。

作为一种优选的方案，所述水平滑动动力装置包括转动安装于机架行的主动同步带轮和从动同步带轮，所述主动同步带轮和从动同步带轮之间设置有同步带；所述主动同步带轮与水平伺服电机的输出轴连接，所述第一输送架的水平滑座固定于同步带上，第二输送架的水平滑动动力装置与第一输送架的水平滑动动力装置结构相同。

作为一种优选的方案，所述第一输送架和第二输送架由同一个水平滑动动力装置驱动，该水平滑动动力装置包括转动安装于机架行的主动同步带轮和从动同步带轮，所述主动同步带轮和从动同步带轮之间设置有同步带；所述主动同步带轮与水平伺服电机的输出轴连接，所述第一输送架的水平滑座和第二输送架的水平滑座固定于同一个同步带上且位于主动同步带和从动同步带中心连线的两侧。

作为一种优选的方案，所述升降动力装置包括固定于水平滑座上的升降气缸，所述升降气缸与竖直连杆传动连接。