[实用新型]一种光刻机的硅片输送装置

权利要求书

1.一种光刻机的硅片输送装置，包括机架，其特征在于：所述机架上设置有取片工位和校正工位，所述机架上滑动安装有相互错开第一输送架和第二输送架，所述第一输送架和第二输送架滑动安装于取片工位与校正工位之间，所述第一输送架和第二输送架的结构相同，所述第一输送架包括水平滑座，所述水平滑座水平滑动安装于机架上，所述水平滑座上竖直滑动安装有竖直连杆，所述竖直连杆的顶部固定有水平设置的吸片架，第一输送架的吸片架比第二输送架的吸片架的高度低，所述吸片架上设置有避让口，所述吸片架上设置有与抽吸系统连通的吸片孔，所述水平滑座与固定于机架上的水平滑动动力装置连接，所述竖直连杆与固定于水平滑座上的升降动力装置连接，所述机架上设置将第一输送架或者第二输送架定位于取片工位的取片定位装置、将第一输送架或第二输送架定位于校正工位的校正定位装置。

2.如权利要求1所述的一种光刻机的硅片输送装置，其特征在于：所述吸片架包括与竖直连杆顶部固定连接的连接杆，连接杆上固定有两根与水平滑座滑动方向垂直的支撑杆，所述两根支撑杆和连接杆构成了矩形框形，所述的吸片孔设置于支撑杆上，两根支撑杆之间形成了避让口。

3.如权利要求2所述的一种光刻机的硅片输送装置，其特征在于：所述两根支撑杆的长度不同。

4.如权利要求3所述的一种光刻机的硅片输送装置，其特征在于：所述取片定位装置包括设置于机架上的取片定位块，所述取片定位块位于取片工位远离校正工位的一侧，所述取片定位块与第一输送架或第二输送架的侧面配合。

5.如权利要求4所述的一种光刻机的硅片输送装置，其特征在于：所述取片定位块上设置有取片接触开关，所述取片接触开关与第一输送 架或第二输送架的侧面配合。

6.如权利要求5所述的一种光刻机的硅片输送装置，其特征在于：所述校正定位装置包括设置于机架上的校正定位块，所述校正定位块位于校正工位远离取片工位的一侧，所述校正定位块与第一输送架或第二输送架的另一个侧面配合。

7.如权利要求6所述的一种光刻机的硅片输送装置，其特征在于：所述校正定位块上设置有校正接触开关，所述校正接触开关与第一输送架或第二输送架的侧面配合。

8.如权利要求7所述的一种光刻机的硅片输送装置，其特征在于：所述水平滑动动力装置包括转动安装于机架行的主动同步带轮和从动同步带轮，所述主动同步带轮和从动同步带轮之间设置有同步带；所述主动同步带轮与水平伺服电机的输出轴连接，所述第一输送架的水平滑座固定于同步带上，第二输送架的水平滑动动力装置与第一输送架的水平滑动动力装置结构相同。

9.如权利要求7所述的一种光刻机的硅片输送装置，其特征在于：所述第一输送架和第二输送架由同一个水平滑动动力装置驱动，该水平滑动动力装置包括转动安装于机架行的主动同步带轮和从动同步带轮，所述主动同步带轮和从动同步带轮之间设置有同步带；所述主动同步带轮与水平伺服电机的输出轴连接，所述第一输送架的水平滑座和第二输送架的水平滑座固定于同一个同步带上且位于主动同步带和从动同步带中心连线的两侧。

10.如权利要求8所述的一种光刻机的硅片输送装置，其特征在于：所述升降动力装置包括固定于水平滑座上的升降气缸，所述升降气缸与竖直连杆传动连接。