[实用新型]一种光刻机用硅片盛放盒

摘要

本实用新型公开了一种光刻机用硅片盛放盒，包括盒体，所述盒体上设置有可容纳硅片的容纳腔，盒体的前侧面设置了开口，所述容纳腔的左腔壁和右腔壁上均等间距设置有若干个平行设置的支撑导轨，相邻支撑导轨之间的间距构成了方便硅片插入的插槽，左腔壁上的插槽和右腔壁上的插槽在水平位置上一一对应，所述盒体的后面设置有背板，所述背板上设置有与容纳腔连通的通孔，所述通孔的上下高度范围大于盒体内所有插槽的总高度，所述通孔的左右宽度小于插槽的左右宽度，所述盒体的底板设置有方便对盒体进行限位的限位结构。该硅片盛放盒不但可以提高与升降座限位准确性，而且方便对硅片盛放盒内的插槽位置进行检测，提高检测的准确度。

主权项

一种光刻机用硅片盛放盒，包括盒体，所述盒体上设置有可容纳硅片的容纳腔，盒体的前侧面设置了开口，所述容纳腔的左腔壁和右腔壁上均等间距设置有若干个平行设置的支撑导轨，相邻支撑导轨之间的间距构成了方便硅片插入的插槽，左腔壁上的插槽和右腔壁上的插槽在水平位置上一一对应，其特征在于：所述盒体的后面设置有背板，所述背板上设置有与容纳腔连通的通孔，所述通孔的上下高度范围大于盒体内所有插槽的总高度，所述通孔的左右宽度小于插槽的左右宽度，所述盒体的底板设置有方便对盒体进行限位的限位结构。