[实用新型]一种光刻机用硅片盛放盒

权利要求书

1.一种光刻机用硅片盛放盒，包括盒体，所述盒体上设置有可容纳硅片的容纳腔，盒体的前侧面设置了开口，所述容纳腔的左腔壁和右腔壁上均等间距设置有若干个平行设置的支撑导轨，相邻支撑导轨之间的间距构成了方便硅片插入的插槽，左腔壁上的插槽和右腔壁上的插槽在水平位置上一一对应，其特征在于：所述盒体的后面设置有背板，所述背板上设置有与容纳腔连通的通孔，所述通孔的上下高度范围大于盒体内所有插槽的总高度，所述通孔的左右宽度小于插槽的左右宽度，所述盒体的底板设置有方便对盒体进行限位的限位结构。

2.如权利要求1所述的一种光刻机用硅片盛放盒，其特征在于：所述限位结构包括设置于盒体底板且向上凹陷的三个凹槽，所述三个凹槽分布于等腰三角形的三个顶点上，其中一个凹槽为矩形凹槽，另两个凹槽的形状均为L形且相对于等腰三角形的顶角角平分线对称设置。

3.如权利要求2所述的一种光刻机用硅片盛放盒，其特征在于：所述盒体的顶板内侧与左腔壁之间、顶板内侧与右腔壁之间均设置有加强筋，所述加强筋与所述盒体的顶板的夹角在15°-30°之间。

4.如权利要求3所述的一种光刻机用硅片盛放盒，其特征在于：每根支撑导轨的前侧端部设置成扩口弧形。

5.如权利要求4所述的一种光刻机用硅片盛放盒，其特征在于：所述左腔壁和/或右腔壁的前侧面设置有若干个与插槽一一对应的序号标签。

6.如权利要求5所述的一种光刻机用硅片盛放盒，其特征在于：所述左腔壁的前侧面上部和下部设置有插销或插孔，对应的，所述右腔壁的前侧面上部和下部设置有与插槽水平位置对应的插孔或插销。

7.如权利要求6所述的一种光刻机用硅片盛放盒，其特征在于：所述盒体的左腔壁的前侧面和右腔壁的前侧面平齐，所述底板前侧面和顶板的前侧面平齐，所述底板的前后长度小于左腔壁的前后长度。