[实用新型]一种光刻机用硅片盛放盒

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种硅片盛放盒，尤其涉及用于光刻机上使用方便硅片自动取片的硅片盛放盒。

背景技术

在集成电路芯片的生产过程中，芯片的设计图形在硅片表面光刻胶上的曝光转印(光刻)是其中最重要的工序之一，该工序所用的设备称为光刻机(曝光机)。光刻机是集成电路加工过程中最关键的设备。而光刻机对硅片进行表面光刻时，需要将硅片从硅片盛放盒中逐片取出，而且还需要将已经光刻的硅片逐片插入到硅片盛放盒的对应的插槽中，且硅片与插槽的位置是唯一对应的，例如，由下而上依次为第一个插槽、第二个插槽……第N个插槽，第一个插槽内的硅片定义为第一片硅片，第二个插槽中的硅片定义为第二片硅片，第N个插槽内的硅片定义为第N片硅片，以第二片硅片为例，第二片硅片被取出光刻完成后只能插入到第二个插槽中，不能插入到其他任意一个插槽内，这样方便硅片盛放盒的整理，方便把控质量。而目前的硅片盛放盒包括盒体，盒体的前侧面设置有开口，所述盒体上设置有可容纳硅片的容纳腔，容纳腔内设置有插槽，硅片由上而下逐片平行插入到插槽内。在光刻工作时将硅片盛放盒直接放置在一个升降座上，取片座水平移动插入到插槽内取片，硅片盛放盒与升降座之间并未有任何的限位结构限位，虽然取片座在正常的取片过程中并不会与硅片盛放盒有任何接触，但是一旦取片座取片出错或者插片出错时，就会通过硅片作用于硅片盛放盒，使其发生偏移，而硅片盛放盒偏移就会造成取片和插片不准。另外，目前对于硅片盛放盒的插槽与取片座之间的位置确定只是通过驱动升降座升降的伺服升降电机来实现，并且在升降座上设置了位置检测开关来检测升降座的位置，进而得出硅片盛放盒的位置，然这种检测方式无法直接得出硅片盛放盒的位置，并且也无法直接得出硅片盛放盒内是否有硅片，特别是一对一的硅片插入过程中出错的几率会更高。

另外，硅片盛放盒在运输过程中需要叠置，二目前的硅片盛放盒的叠置时容易硅片与硅片盛放盒分离，这样就极大的影响了硅片的质量。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种光刻机用硅片盛放盒，该硅片盛放盒，该硅片盛放盒不但可以提高与升降座限位准确性，而且方便对硅片盛放盒内的插槽位置进行检测，提高检测的准确度。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：一种光刻机用硅片盛放盒，包括盒体，所述盒体上设置有可容纳硅片的容纳腔，盒体的前侧面设置了开口，所述容纳腔的左腔壁和右腔壁上均等间距设置有若干个平行设置的支撑导轨，相邻支撑导轨之间的间距构成了方便硅片插入的插槽，左腔壁上的插槽和右腔壁上的插槽在水平位置上一一对应，所述盒体的后面设置有背板，所述背板上设置有与容纳腔连通的通孔，所述通孔的上下高度范围大于盒体内所有插槽的总高度，所述通孔的左右宽度小于插槽的左右宽度，所述盒体的底板设置有方便对盒体进行限位的限位结构。

作为一种优选的方案，所述限位结构包括设置于盒体底板且向上凹陷的三个凹槽，所述三个凹槽分布于等腰三角形的三个顶点上，其中一个凹槽为矩形凹槽，另两个凹槽的形状均为L形且相对于等腰三角形的顶角角平分线对称设置。

作为一种优选的方案，所述盒体的顶板内侧与左腔壁之间、顶板内侧与右腔壁之间均设置有加强筋，所述加强筋与所述盒体的顶板的夹角在15°-30°之间。

作为一种优选的方案，每根支撑导轨的前侧端部设置成扩口弧形。

作为一种优选的方案，所述左腔壁和/或右腔壁的前侧面设置有若干个与插槽一一对应的序号标签。

作为一种优选的方案，所述左腔壁的前侧面上部和下部设置有插销或插孔，对应的，所述右腔壁的前侧面上部和下部设置有与插槽水平位置对应的插孔或插销。

作为一种优选的方案，所述盒体的左腔壁的前侧面和右腔壁的前侧面平齐，所述底板前侧面和顶板的前侧面平齐，所述底板的前后长度小于左腔壁的前后长度。

采用了上述技术方案后，本实用新型的效果是：由于所述盒体的后面设置有背板，所述背板上设置有与容纳腔连通的通孔，所述通孔的上下高度范围大于盒体内所有插槽的总高度，所述通孔的左右宽度小于插槽的左右宽度，因此，该通孔在不妨碍硅片插片的前提下，可方便在硅片盛放盒的前后方向上设置对射式的检测传感器，利用两个不同高度的对射式传感器即可检测硅片盛放盒内是否有硅片，也可精准的检测与取片座水平位置对应的插槽位置，通孔方便信对射检测传感器信号的通过，二所述盒体的底板设置有方便对盒体进行限位的限位结构，利用盒体的底板上的限位结构进一步对盒体进行限位，避免盒体相对升降座发生偏移。