[实用新型]基于多波长显微干涉的三维形貌检测装置有效
| 申请号： | 201621281736.1 | 申请日： | 2016-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN206601106U | 公开（公告）日： | 2017-10-31 |
| 发明（设计）人： | 沈涛;周燕 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨理工大学 |
| 主分类号： | G01B11/25 | 分类号： | G01B11/25 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150080 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本实用新型是一种基于多波长显微干涉的三维形貌检测装置，包括光源、一号滤光片、二号滤光片、三号滤光片、一号反射镜、二号反射镜、一号透镜、分光镜、一号显微物镜、待测元件、移相控制装置、二号显微物镜、参考元件、二号透镜、探测装置、步进电机、数据采集装置。利用数据采集装置显示探测装置拍摄的干涉图样，可得到待测元件的三维形貌。本实用新型适用于精密光学干涉测量领域。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 波长 显微 干涉 三维 形貌 检测 装置 | ||
【主权项】：
基于多波长显微干涉的三维形貌检测装置，其特征在于：它包括光源（1）、一号滤光片（2）、二号滤光片（3）、三号滤光片（4）、一号反射镜（5）、二号反射镜（6）、一号透镜（7）、分光镜（8）、一号显微物镜（9）、待测元件（10）、移相控制装置（11）、二号显微物镜（12）、参考元件（13）、二号透镜（14）、探测装置（15）、步进电机（16）、数据采集装置（17）；一号滤光片（2）、二号滤光片（3）、三号滤光片（4）平行放置于一圆盘上，且二号滤光片（3）位于中间；距二号滤光片（3）150mm一侧放置光源（1）另一侧距其200mm位置放置一号反射镜（5）；二号反射镜（6）位于能够使入射到一号反射镜（5）的光垂直出射的位置；一号透镜（7）位于距二号反射镜（6）150mm同时距分光镜（8）150mm的位置；一号显微物镜（9）距分光镜（8）230mm同时距待测元件（10）200mm；探测装置（15）和二号透镜（14）距离100mm；二号显微物镜（12）距移相控制装置（11）100mm同时距参考元件（13）200mm。
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