[实用新型]基于多波长显微干涉的三维形貌检测装置

权利要求书

1.基于多波长显微干涉的三维形貌检测装置，其特征在于：它包括光源（1）、一号滤光片（2）、二号滤光片（3）、三号滤光片（4）、一号反射镜（5）、二号反射镜（6）、一号透镜（7）、分光镜（8）、一号显微物镜（9）、待测元件（10）、移相控制装置（11）、二号显微物镜（12）、参考元件（13）、二号透镜（14）、探测装置（15）、步进电机（16）、数据采集装置（17）；

一号滤光片（2）、二号滤光片（3）、三号滤光片（4）平行放置于一圆盘上，且二号滤光片（3）位于中间；距二号滤光片（3）150mm一侧放置光源（1）另一侧距其200mm位置放置一号反射镜（5）；二号反射镜（6）位于能够使入射到一号反射镜（5）的光垂直出射的位置；一号透镜（7）位于距二号反射镜（6）150mm同时距分光镜（8）150mm的位置；一号显微物镜（9）距分光镜（8）230mm同时距待测元件（10）200mm；探测装置（15）和二号透镜（14）距离100mm；二号显微物镜（12）距移相控制装置（11）100mm同时距参考元件（13）200mm。

2.根据权利要求1所述的基于多波长显微干涉的三维形貌检测装置，其特征在于：光源（1）为LED白光光源。

3.根据权利要求1所述的基于多波长显微干涉的三维形貌检测装置，其特征在于：一号滤光片（2）、二号滤光片（3）、三号滤光片（4）透过的波长分别为632.8nm、543nm、457nm。

4.根据权利要求1所述的基于多波长显微干涉的三维形貌检测装置，其特征在于：分光镜（8）的分光比均为1:1材料为BK7玻璃。

5.根据权利要求1所述的基于多波长显微干涉的三维形貌检测装置，其特征在于：一号透镜（7）的焦距为150mm 的AC254-150透镜。

6.根据权利要求1所述的基于多波长显微干涉的三维形貌检测装置，其特征在于：二号透镜（14）的焦距为100mm 的AC254-100-A透镜。

7.根据权利要求1所述的基于多波长显微干涉的三维形貌检测装置，其特征在于：一号显微物镜（9）和二号显微物镜（12）为相同型号的十倍显微物镜，焦距为20mm。

8.根据权利要求1所述的基于多波长显微干涉的三维形貌检测装置，其特征在于：移相控制装置（11）为电动调焦镜片ETL。

9.根据权利要求1所述的基于多波长显微干涉的三维形貌检测装置，其特征在于：探测装置（15）为CCD。

10.根据权利要求1所述的基于多波长显微干涉的三维形貌检测装置，其特征在于：数据采集装置（17）为计算机。