[实用新型]LDI光机系统及其遮光罩有效
| 申请号： | 201621272724.2 | 申请日： | 2016-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN206292527U | 公开（公告）日： | 2017-06-30 |
| 发明（设计）人： | 王维娟 | 申请（专利权）人： | 天津津芯微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)11371 | 代理人： | 马维丽 |
| 地址： | 300457 天津市滨海新区天津经济技术开发区黄海路1*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种LDI光机系统及其遮光罩，涉及光刻直写曝光机及投影显示的技术领域，其中，一种LDI光机系统遮光罩，包括第一腔体，第一腔体固设于聚焦组件安装底板之上，聚焦组件安装底板开设有通光孔，第一腔体通过通光孔连通外部，且第一腔体的一对侧壁开设有固定孔，并通过固定孔与大理石龙门固定，第一腔体至少开设有一个散热孔，散热孔平行且高于固定孔；第二腔体，第二腔体与第一腔体连通，并位于第一腔体中固定孔所在侧壁的邻侧壁，且第二腔体的一侧壁设置有若干激光器接线插板。解决了现有技术的LDI光机系统仅能实现部分避光不能有效防尘的技术问题，实现了LDI光机系统的有效避光和防尘。 | ||
| 搜索关键词： | ldi 系统 及其 遮光 | ||
【主权项】：
一种LDI光机系统遮光罩，其特征在于，包括：第一腔体，所述第一腔体固设于聚焦组件安装底板之上，所述聚焦组件安装底板开设有通光孔，所述第一腔体通过所述通光孔连通外部，且所述第一腔体的一对侧壁开设有固定孔，并通过所述固定孔与大理石龙门固定，所述第一腔体至少开设有一个散热孔，所述散热孔平行且高于所述固定孔；第二腔体，所述第二腔体与所述第一腔体连通，并位于所述第一腔体中所述固定孔所在侧壁的邻侧壁，且所述第二腔体的一侧壁设置有若干激光器接线插板。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于天津津芯微电子科技有限公司，未经天津津芯微电子科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201621272724.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
