[实用新型]LDI光机系统及其遮光罩

说明书

技术领域

本实用新型涉及光刻直写曝光机及投影显示技术领域，尤其是涉及一种LDI光机系统及其遮光罩。

背景技术

光刻技术是用于在基底表面上印刷具有特征构图的技术。这样的基底可用于制造半导体器件、多种集成电路、平面显示器(例如液晶显示器)、电路板、生物芯片、微机械电子芯片、光电子线路芯片等。

在直写式光刻机的光刻系统中，特征图形由空间光调制器微镜阵列产生，这些微小镜面可以独立寻址单独受控以不同的倾斜方向反射照射的光束，以产生空间光强调制，最后将特征图形通过相应成像光路投影到印刷电路板(Printed Circuit Board，简称PCB板)上。因为光刻技术是在光机系统镜筒的基础上实现，为了保证光刻精度，镜筒不但需要避光，还需要始终处于高洁净度的空间环境内。

现有光刻系统仅有部分避光功能，不能实现完全避光和有效防尘，光刻系统的成像质量容易受到自然光的影响，而且随着使用时间的增加，还容易受到灰尘的影响。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种LDI光机系统及其遮光罩，以解决现有技术的激光直接成像(Laser Direct Image，简称LDI)光机系统仅能实现部分避光不能有效防尘的技术问题。

第一方面，本实用新型实施例提供了一种LDI光机系统遮光罩，包括第一腔体和第二腔体，底板中间开设有通光孔；

第一腔体固设于聚焦组件安装底板之上，聚焦组件安装底板开设有通光孔，第一腔体通过通光孔连通外部，第一腔体的一对侧壁开设有固定孔，并通过固定孔与大理石龙门固定，第一腔体至少开设有一个散热孔，散热孔平行且高于固定孔；

第二腔体与第一腔体连通，并位于第一腔体中固定孔所在侧壁的邻侧壁，且第二腔体的一侧壁设置有若干激光器接线插板。

第一腔体固定于聚焦组件安装底板和大理石龙门上，散热孔加快了遮光罩内外空气的对流速度，既有利于散热，又能使整个遮光罩内保持正压，进而避免了机台内部灰尘进入遮光罩内并使其内部的光学元件沾染灰尘；第二腔体设置的激光器接线插板既能有效地防尘，又能使激光通过光纤进入遮光罩内以完成光刻工作；整体结构简单，安装方便，实现了LDI光机系统的有效避光和防尘。

结合第一方面，本实用新型实施例提供了第一方面的第一种可能的实施方式，其中，第一腔体开设有固定孔的一对侧壁均开设有平行于固定孔的散热孔。

两侧壁上的散热孔相对设置，可以加快遮光罩内的空气与外界空气的对流速度，加快散热。

结合第一方面的第一种可能的实施方式，本实用新型实施例提供了第一方面的第二种可能的实施方式，其中，散热孔安装有排风扇。

排风扇加快了遮光罩内的空气对流速度，同时使整个遮光罩内保持正压，进而保证机台内部的灰尘不会进入遮光罩内，实现了LDI光机系统的有效地防尘。

结合第一方面，本实用新型实施例提供了第一方面的第三种可能的实施方式，其中，第一腔体远离第二腔体的一侧设有DMD控制板支架。

结合第一方面的第三种可能的实施方式，本实用新型实施例提供了第一方面的第四种可能的实施方式，其中，DMD控制板支架的顶端设有一折弯，折弯背离第一腔体。

结合第一方面的第四种可能的实施方式，本实用新型实施例提供了第一方面的第五种可能的实施方式，其中DMD控制板支架的折弯上安装有DMD控制板。

结合第一方面，本实用新型实施例提供了第一方面的第六种可能的实施方式，其中，第一腔体为长方体。

结合第一方面的第六种可能的实施方式，本实用新型实施例提供了第一方面的第七种可能的实施方式，其中，第二腔体为长方体，且第二腔体的高度低于第一腔体的高度。

结合第一方面及其可能的实施方式，本实用新型实施例提供了第一方面的第八种可能的实施方式，其中，第二腔体远离第一腔体的一侧壁设置有若干激光器接线插板。

激光器接线插板可以使激光器输出端的光纤进入遮光罩，进而使由激光器发出的激光进入遮光罩内的光路中。

第二方面，本实用新型实施例还提供了一种LDI光机系统，包括激光器、照明光路、成像镜筒、聚焦组件以及第一方面及其可能的实施方式所述的遮光罩，照明光路、成像镜筒、聚焦组件设于遮光罩内，聚焦组件安装在聚焦组件安装底板上，且输出口正对通光孔，激光器输出端的光纤经由激光器接线插板进入遮光罩内，由激光器发出的激光依次进入照明光路和成像镜筒，然后通过聚焦组件射出。

本实用新型实施例带来了以下有益效果：