[实用新型]LDI光机系统及其遮光罩有效
申请号: | 201621272724.2 | 申请日: | 2016-11-25 |
公开(公告)号: | CN206292527U | 公开(公告)日: | 2017-06-30 |
发明(设计)人: | 王维娟 | 申请(专利权)人: | 天津津芯微电子科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)11371 | 代理人: | 马维丽 |
地址: | 300457 天津市滨海新区天津经济技术开发区黄海路1*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | ldi 系统 及其 遮光 | ||
1.一种LDI光机系统遮光罩,其特征在于,包括:
第一腔体,所述第一腔体固设于聚焦组件安装底板之上,所述聚焦组件安装底板开设有通光孔,所述第一腔体通过所述通光孔连通外部,且所述第一腔体的一对侧壁开设有固定孔,并通过所述固定孔与大理石龙门固定,所述第一腔体至少开设有一个散热孔,所述散热孔平行且高于所述固定孔;
第二腔体,所述第二腔体与所述第一腔体连通,并位于所述第一腔体中所述固定孔所在侧壁的邻侧壁,且所述第二腔体的一侧壁设置有若干激光器接线插板。
2.根据权利要求1所述的LDI光机系统遮光罩,其特征在于,所述第一腔体开设有所述固定孔的一对侧壁均开设有平行于所述固定孔的散热孔。
3.根据权利要求2所述的LDI光机系统遮光罩,其特征在于,所述散热孔安装有排风扇。
4.根据权利要求1所述的LDI光机系统遮光罩,其特征在于,所述第一腔体远离所述第二腔体的一侧设有DMD控制板支架。
5.根据权利要求4所述的LDI光机系统遮光罩,其特征在于,所述DMD控制板支架的顶端设有一折弯,所述折弯背离所述第一腔体。
6.根据权利要求5所述的LDI光机系统遮光罩,其特征在于,所述DMD控制板支架的折弯上安装有DMD控制板。
7.根据权利要求1所述的LDI光机系统遮光罩,其特征在于,所述第一腔体为长方体。
8.根据权利要求7所述的LDI光机系统遮光罩,其特征在于,所述第二腔体为长方体,且所述第二腔体的高度低于所述第一腔体的高度。
9.根据权利要求1-8任一项所述的LDI光机系统遮光罩,其特征在于,所述第二腔体远离所述第一腔体的一侧壁设置有若干激光器接线插板。
10.一种LDI光机系统,其特征在于,包括激光器、照明光路、成像镜筒、聚焦组件以及如权利要求1-9任一项所述的遮光罩,所述照明光路、成像镜筒、聚焦组件设于所述遮光罩内,所述聚焦组件安装于聚焦组件安装底板上,且输出口正对所述通光孔,所述激光器输出端的光纤经由激光器接线插板进入所述遮光罩,由所述激光器发出的激光依次进入所述照明光路和所述成像镜筒,然后由所述聚焦组件射出。
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