[实用新型]一种被覆梯度类金刚石薄膜的模具有效
申请号: | 201621179764.2 | 申请日: | 2016-10-27 |
公开(公告)号: | CN206089795U | 公开(公告)日: | 2017-04-12 |
发明(设计)人: | 彭继华;苏东艺;梁献文 | 申请(专利权)人: | 广州今泰科技股份有限公司;华南理工大学 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/16;C23C14/06 |
代理公司: | 北京精金石专利代理事务所(普通合伙)11470 | 代理人: | 刘晔 |
地址: | 510530 广东省广州市经济技*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型属于新材料技术领域,提供一种被覆梯度类金刚石薄膜的模具,包括模具基体,所述模具基体的表面上设有梯度类金刚石薄膜,所述梯度类金刚石薄膜由下至上包括纯金属层、第一梯度过渡层、金属氮化物层、第二梯度过渡层、碳化钨层、第三梯度过渡层以及表面层,所述表面层为类金刚石层或含硅类金刚石层。本实用新型被覆梯度类金刚石薄膜的模具具有优异的膜基结合力和抗冲击性。 | ||
搜索关键词: | 一种 被覆 梯度 金刚石 薄膜 模具 | ||
【主权项】:
一种被覆梯度类金刚石薄膜的模具,包括模具基体,其特征在于,所述模具基体的表面上设有梯度类金刚石薄膜,所述梯度类金刚石薄膜由下至上包括纯金属层、第一梯度过渡层、金属氮化物层、第二梯度过渡层、碳化钨层、第三梯度过渡层以及表面层,所述表面层为类金刚石层或含硅类金刚石层。
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