[实用新型]一种自清洗质谱装置和质谱仪

摘要

本实用新型公开了一种自清洗质谱装置和质谱仪。具体地，本实用新型改变了现有离子源的结构，设计出一种新型的离子化腔室。所述新型的离子化腔室内部存在一平板金属电极、离子化腔室壁上存在一离子源LC接口，并且离子化腔室与已经存在的质谱前级真空泵连接。将离子化腔室和传输系统内部抽为真空，通过离子源LC接口通入无机气体，并在电极上施加高频射频电压，无机气体辉光放电产生的等离子体，从而等离子体对离子源和传输系统进行有效清洗。本实用新型的清洗方式不用拆除任何器件，且清洗效果好于常规的溶剂清洗或超声清洗。

主权项

一种自清洗质谱装置，其特征在于，所述装置包括离子化腔室和传输腔室，其中，所述离子化腔室包括离子化腔室壁，和由所述离子化腔室壁界定的内腔；所述的离子化腔室壁上设有清洗气体入口、清洗气体出口、离子源LC第一接口、和用于连通所述传输腔室的第二接口；所述清洗气体入口和离子源LC第一接口为同一个口，或者所述清洗气体入口和离子源LC第一接口不为同一个口；所述清洗气体出口通过管道与真空泵相连，并且所述管道上设有一二通电磁阀；并且，由所述离子化腔室壁界定的内腔中设有一平板金属电极，所述平板金属电极与射频电路相连，用于产生射频电压。