[实用新型]一种自清洗质谱装置和质谱仪

权利要求书

1.一种自清洗质谱装置，其特征在于，所述装置包括离子化腔室和传输腔室，其中，所述离子化腔室包括离子化腔室壁，和由所述离子化腔室壁界定的内腔；

所述的离子化腔室壁上设有清洗气体入口、清洗气体出口、离子源LC第一接口、和用于连通所述传输腔室的第二接口；

所述清洗气体入口和离子源LC第一接口为同一个口，或者所述清洗气体入口和离子源LC第一接口不为同一个口；

所述清洗气体出口通过管道与真空泵相连，并且所述管道上设有一二通电磁阀；

并且，由所述离子化腔室壁界定的内腔中设有一平板金属电极，所述平板金属电极与射频电路相连，用于产生射频电压。

2.如权利要求1所述的自清洗质谱装置，其特征在于，所述的传输腔室通过管道与真空泵相连。

3.如权利要求1所述的自清洗质谱装置，其特征在于，所述平板金属电极正对用于连通所述传输腔室的第二接口。

4.如权利要求1所述的自清洗质谱装置，其特征在于，所述平板金属电极与所述的自清洗质谱装置的其它金属部分处于绝缘隔离状态。

5.一种质谱仪，其特征在于，所述质谱仪包括如权利要求1中所述的自清洗质谱装置。