[实用新型]一种真空镀膜设备的新型真空腔体隔离装置

摘要

本实用新型公开了一种真空镀膜设备的新型真空腔体隔离装置，包括真空腔体，所述真空腔体内设有导轨和齿条，齿条通过滑轮组件连接在导轨上，所述导轨两端分别设有“开”位置止动器和“关”位置止动器；所述齿条固定有隔离挡板；真空腔体顶部设有马达，马达连接设置在真空腔体内部的传动齿轮，传动齿轮与齿条啮合；马达两侧分别设有“开”位置传感器和“关”位置传感器，“开”位置传感器和“关”位置传感器通过电线分别连接“开”指示灯和“关”指示灯，“开”指示灯和“关”指示灯设置在设备控制柜面板上。本实用新型与现有技术相比的优点是：本实用新型结构简单，易于维护，工作性能稳定，较大幅度提高了镀膜产品的质量。

主权项

一种真空镀膜设备的新型真空腔体隔离装置，其特征在于：包括真空腔体，所述真空腔体内设有导轨和齿条，齿条通过滑轮组件连接在导轨上，所述导轨两端分别设有“开”位置止动器和“关”位置止动器；所述齿条固定有隔离挡板；所述隔离挡板分为上下两段，上下段通过3个不锈钢螺丝连接；所述真空腔体顶部设有马达，所述马达连接设置在真空腔体内部的传动齿轮，传动齿轮与齿条啮合；所述马达两侧分别设有“开”位置传感器和“关”位置传感器，“开”位置传感器和“关”位置传感器通过电线分别连接“开”指示灯和“关”指示灯，“开”指示灯和“关”指示灯设置在设备控制柜面板上。