[实用新型]一种真空镀膜设备的新型真空腔体隔离装置

权利要求书

1.一种真空镀膜设备的新型真空腔体隔离装置，其特征在于：包括真空腔体，所述真空腔体内设有导轨和齿条，齿条通过滑轮组件连接在导轨上，所述导轨两端分别设有“开”位置止动器和“关”位置止动器；所述齿条固定有隔离挡板；所述隔离挡板分为上下两段，上下段通过3个不锈钢螺丝连接；

所述真空腔体顶部设有马达，所述马达连接设置在真空腔体内部的传动齿轮，传动齿轮与齿条啮合；

所述马达两侧分别设有“开”位置传感器和“关”位置传感器，“开”位置传感器和“关”位置传感器通过电线分别连接“开”指示灯和“关”指示灯，“开”指示灯和“关”指示灯设置在设备控制柜面板上。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备的新型真空腔体隔离装置，其特征在于：所述真空腔体为圆筒状，导轨和齿条均呈弧形。