[实用新型]一种硅晶棒倒角设备

摘要

本实用新型提出一种硅晶棒倒角设备，结构合理，能够有效避免其上翻转机构在翻转工作过程中，第二气缸的气缸杆发生弯曲变形包括机体，机体上设有用于放置晶棒的V形槽，V形槽的下方设有安装于机体内的打磨组件，V形槽的上方设有用于将硅晶棒翻转的翻转机构，所述翻转机构包括固定在机体上的支架、第一活动板、第一气缸、第二活动板、第二气缸，两第二活动板内侧相对位置装设有适于夹持硅晶棒的夹块，各夹块可绕自身轴线转动，其中一夹块由驱动电机驱动旋转；第一活动板上设有沿第二气缸轴向设置的燕尾凸台或/和燕尾槽，所述第二活动板的上端设有适于与所述燕尾凸台或/和燕尾槽滑动配合的燕尾槽或/和燕尾凸台。

主权项

一种硅晶棒倒角设备，包括机体(1)，机体(1)上设有用于放置硅晶棒的V形槽(2)，V形槽(2)的下方设有安装于机体(1)内的打磨组件，V形槽(2)的上方设有用于将硅晶棒翻转的翻转机构，所述翻转机构包括固定在机体(1)上的支架(4)、水平设置的第一活动板(5)、驱动第一活动板(5)上下移动的第一气缸(6)、两相对设置的第二活动板(7)、固定在所述第一活动板(5)上的用于驱动两第二活动板(7)相向或相离运动的第二气缸(8)，所述第二气缸(8)为两端均设有气缸杆的双轴气缸，两第二活动板(7)内侧相对位置装设有适于夹持硅晶棒的夹块(9)，各夹块(9)可绕自身轴线转动，其中一夹块(9)由驱动电机(14)驱动旋转；其特征在于：所述第一活动板(5)上设有沿第二气缸(8)轴向设置的燕尾凸台(12)或/和燕尾槽(11)，所述第二活动板(7)的上端设有适于与所述燕尾凸台(12)或/和燕尾槽(11)滑动配合的燕尾槽(11)或/和燕尾凸台(12)。