[实用新型]一种硅晶棒倒角设备

说明书

技术领域

本实用新型属于硅晶片制造技术领域，具体涉及一种硅晶棒倒角设备。

背景技术

在硅晶片生产制造的过程中，需要将硅晶棒进行切片，但是在切片之前为了保证切片后硅晶片的质量需要将硅晶棒倒角，未倒角的硅晶棒切片后的硅晶片边缘表面会存在有棱角毛刺崩边甚至有裂缝等缺陷，边缘表面比较粗糙，为了增加硅晶片边缘表面机械强度、减少颗粒污染，因此需要将硅晶棒的边缘磨削呈圆弧状或梯形。倒角工序大都在硅晶棒倒角设备上进行，在倒角时，对硅晶棒一棱角打磨完成后需要将硅晶棒翻转90度，再对另一棱角进行打磨。现有的一种硅晶棒倒角设备包括机体，机体上设有用于放置硅晶棒的V形槽，V形槽的下方设有安装于机体内的打磨组件，V形槽的上方设有用于将硅晶棒翻转的翻转机构，所述翻转机构包括固定在机体上的支架、水平设置的第一活动板、驱动第一活动板上下移动的第一气缸、两相对设置的第二活动板、固定在所述第一活动板上的用于驱动两第二活动板相向或相离运动的第二气缸，所述第二气缸为两端均设有气缸杆的双轴气缸，两第二活动板内侧相对位置装设有适于夹持硅晶棒的夹块，各夹块可绕自身轴线转动，其中一夹块由驱动电机驱动旋转。该设备在运行时，将硅晶棒放入V形槽内，通过打磨组件对硅晶棒的下棱角进行打磨，打磨完成后通过翻转机构将硅晶棒翻转90度再对下一棱角打磨，具体在翻转时，先由第一气缸带动第二活动板下移使夹块处于与硅晶棒两端中心相对的位置，然后第二气缸带动两第二活动板相向移动并由两夹块夹紧硅晶棒，再通过第一气缸带动向上移动一定高度后，由驱动电机驱动带动硅晶棒转动90度后将硅晶棒放入V形槽内由打磨组件继续打磨，此翻转打磨步骤循环三次即可将硅晶棒的四个棱角打磨完毕。上述硅晶棒倒角设备存在的问题是，第二活动板始终处于悬空，仅通过气缸杆与第二气缸连接，这样一来，在翻转硅晶棒时，硅晶棒重量是由第二气缸的气缸杆在承受，长期使用后气缸杆难免会发生弯曲变形，进而无法正常伸缩，影响了设备正常工作。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是，克服现有技术的缺陷，提供一种结构合理的硅晶棒倒角设备，从而能够有效避免其上翻转机构在翻转工作过程中，第二气缸的气缸杆发生弯曲变形。

为解决上述技术问题，本实用新型提出一种硅晶棒倒角设备，包括机体，机体上设有用于放置晶棒的V形槽，V形槽的下方设有安装于机体内的打磨组件，V形槽的上方设有用于将硅晶棒翻转的翻转机构，所述翻转机构包括固定在机体上的支架、水平设置的第一活动板、驱动第一活动板上下移动的第一气缸、两相对设置的第二活动板、固定在所述第一活动板上的用于驱动两第二活动板相向或相离运动的第二气缸，所述第二气缸为两端均设有气缸杆的双轴气缸，两第二活动板内侧相对位置装设有适于夹持硅晶棒的夹块，各夹块可绕自身轴线转动，其中一夹块由驱动电机驱动旋转；第一活动板上设有沿第二气缸轴向设置的燕尾凸台或/和燕尾槽，所述第二活动板的上端设有适于与所述燕尾凸台或/和燕尾槽滑动配合的燕尾槽或/和燕尾凸台。

采用上述结构后，与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：所述第一活动板上设有沿第二气缸轴向设置的燕尾凸台或/和燕尾槽，所述第二活动板的上端设有适于与所述燕尾凸台或/和燕尾槽滑动配合的燕尾槽或/和燕尾凸台，这样通过燕尾凸台与燕尾槽的配合从而将第一活动板与第二活动板活动连接，所述第二活动板在受第二气缸驱使移动的过程中，燕尾凸台与对应的燕尾槽位置随之发生相对移动，在翻转硅晶棒时，硅晶棒的重量由第一活动板和第二气缸的气缸杆共同承担，从而能够避免仅由第二气缸的气缸杆承受硅晶棒重量时容易发生弯曲变形的问题；实际操作中，为了减小燕尾凸台与燕尾槽间的摩擦力，可在两者之间设置滚轮。

作为改进，第二气缸通过螺栓组件固定在第一活动板上，所述第一活动板上对应安装第二气缸的位置设有定位凸台，所述第二气缸上设有与所述定位凸台配合的定位槽，这样，将定位凸台与定位槽配合后，能够将第二气缸快速定位，从而便于第二气缸上的螺孔与第一活动板上的螺孔对齐，方便螺栓组件固定。

作为改进，螺栓组件包括紧固螺栓和与之配合的弹性垫片及力矩螺母，这样一来就能够将第二气缸牢靠的固定在第一活动板上。

附图说明

图1为本实用新型中硅晶棒倒角设备的结构示意图。

图2为本实用新型的硅晶棒倒角设备中，所述第一活动板与第二活动板连接时的正向视图。