[实用新型]一种硅晶棒倒角设备

权利要求书

1.一种硅晶棒倒角设备，包括机体(1)，机体(1)上设有用于放置硅晶棒 的V形槽(2)，V形槽(2)的下方设有安装于机体(1)内的打磨组件，V形槽 (2)的上方设有用于将硅晶棒翻转的翻转机构，所述翻转机构包括固定在机体 (1)上的支架(4)、水平设置的第一活动板(5)、驱动第一活动板(5)上下移 动的第一气缸(6)、两相对设置的第二活动板(7)、固定在所述第一活动板(5) 上的用于驱动两第二活动板(7)相向或相离运动的第二气缸(8)，所述第二气 缸(8)为两端均设有气缸杆的双轴气缸，两第二活动板(7)内侧相对位置装设 有适于夹持硅晶棒的夹块(9)，各夹块(9)可绕自身轴线转动，其中一夹块(9) 由驱动电机(14)驱动旋转；其特征在于：所述第一活动板(5)上设有沿第二 气缸(8)轴向设置的燕尾凸台(12)或/和燕尾槽(11)，所述第二活动板(7) 的上端设有适于与所述燕尾凸台(12)或/和燕尾槽(11)滑动配合的燕尾槽(11) 或/和燕尾凸台(12)。

2.根据权利要求1所述的硅晶棒倒角设备，其特征在于，所述第二气缸(8) 通过螺栓组件(13)固定在第一活动板(5)上，所述第一活动板(5)上对应安 装第二气缸(8)的位置设有定位凸台，所述第二气缸(8)上设有与所述定位凸 台配合的定位槽。

3.根据权利要求2所述的硅晶棒倒角设备，其特征在于，所述螺栓组件(13) 包括紧固螺栓和与之配合的弹性垫片及力矩螺母。