[发明专利]一种大口径高分辨率电子枪有效
| 申请号： | 201611214368.3 | 申请日： | 2016-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN106601576B | 公开（公告）日： | 2018-10-23 |
| 发明（设计）人： | 沈旭东;张丽 | 申请（专利权）人： | 安徽华东光电技术研究所 |
| 主分类号： | H01J29/48 | 分类号： | H01J29/48 |
| 代理公司： | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107 | 代理人： | 朱圣荣 |
| 地址： | 241000 安徽省芜湖*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种大口径高分辨率电子枪，该电子枪包括发射系统、预透镜系统、主透镜系统，所述发射系统、预透镜系统、主透镜系统依次连接，所述主透镜系统设有用于截获电子束边缘的电子的限流膜片，所述预透镜系统与主透镜系统通过零件配合焊接在一起。所述主透镜系统包括聚焦极、阳极组成；聚焦极、阳极通过玻封焊与玻璃芯杆焊接在一起，聚焦极、阳极的轴线与发射系统、预透镜系统同一轴线。通过扩大聚焦极和阳极孔径，在聚焦极上增加限流膜孔，达到减小像差和提高分辨率的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 口径 高分辨率 电子枪 | ||
【主权项】：
1.一种大口径高分辨率电子枪，该电子枪包括发射系统、预透镜系统、主透镜系统，所述发射系统、预透镜系统、主透镜系统依次连接，其特征在于，所述主透镜系统设有用于截获电子束边缘的电子的限流膜片，所述预透镜系统与主透镜系统通过零件配合焊接在一起；所述主透镜系统包括聚焦极、阳极；聚焦极、阳极通过玻封焊与玻璃芯杆焊接在一起，聚焦极、阳极的轴线与发射系统、预透镜系统同一轴线；所述聚焦极和阳极孔径大于聚焦极和阳极之间的距离。
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