[发明专利]一种大口径高分辨率电子枪

权利要求书

1.一种大口径高分辨率电子枪，该电子枪包括发射系统、预透镜系统、主透镜系统，所述发射系统、预透镜系统、主透镜系统依次连接，其特征在于，所述主透镜系统设有用于截获电子束边缘的电子的限流膜片，所述预透镜系统与主透镜系统通过零件配合焊接在一起；所述主透镜系统包括聚焦极、阳极；聚焦极、阳极通过玻封焊与玻璃芯杆焊接在一起，聚焦极、阳极的轴线与发射系统、预透镜系统同一轴线；所述聚焦极和阳极孔径大于聚焦极和阳极之间的距离。

2.根据权利要求1所述大口径高分辨率电子枪，其特征在于，所述发射系统包括灯丝和阴极，所述预透镜系统包括调制极、加速极，所述灯丝和阴极连接，灯丝和阴极设置在调制极内部，阴极、调制极、加速极通过玻封焊与玻璃芯杆焊接在一起，灯丝、阴极、调制极同一轴线，所述调制极在轴线位置设有通孔。

3.根据权利要求1所述大口径高分辨率电子枪，其特征在于，所述用于截获电子束边缘的电子的限流膜片设置在聚焦极内部，限流膜片的中心孔的轴线与聚焦极、阳极的轴线为同一轴线，所述限流膜片中心孔直径为聚焦极的十分之一或五分之一。

4.根据权利要求3所述大口径高分辨率电子枪，其特征在于：所述聚焦极包括基础聚焦极和扩大聚焦极，所述扩大聚焦极的直径是基础聚焦极的2倍，所述限流膜片设置在基础聚焦极和扩大聚焦极的连接处。

5.根据权利要求4所述大口径高分辨率电子枪，其特征在于：所述基础聚焦极和扩大聚焦极的电压不同、聚焦点位置不同，聚焦电压较低时，聚焦点靠近阴极，聚焦电压较高时，聚焦点远离阴极。

6.根据权利要求1所述大口径高分辨率电子枪，其特征在于：所述聚焦极工作在高电位，与阳极电位保持比例关系。

7.根据权利要求1所述大口径高分辨率电子枪，其特征在于：所述聚焦极部分与阳极直径方向一致，通过玻封焊与玻璃芯杆焊接在一起。

8.根据权利要求1所述大口径高分辨率电子枪，其特征在于：聚焦极与阳极之间的距离根据真空耐压要求进行设定。