[发明专利]一种大口径高分辨率电子枪

说明书

本发明公开了一种大口径高分辨率电子枪，该电子枪包括发射系统、预透镜系统、主透镜系统，所述发射系统、预透镜系统、主透镜系统依次连接，所述主透镜系统设有用于截获电子束边缘的电子的限流膜片，所述预透镜系统与主透镜系统通过零件配合焊接在一起。所述主透镜系统包括聚焦极、阳极组成；聚焦极、阳极通过玻封焊与玻璃芯杆焊接在一起，聚焦极、阳极的轴线与发射系统、预透镜系统同一轴线。通过扩大聚焦极和阳极孔径，在聚焦极上增加限流膜孔，达到减小像差和提高分辨率的目的。

技术领域

本发明属于真空器件技术领域，具体涉及一种大口径高分辨率电子枪。

背景技术

在真空显示管中，由电子枪提供高速电子轰击显示屏上荧光粉，荧光粉发光产生显示。一般要求电子枪发射的电子束打在显示屏上直径小，分辨率高。一把高分辨率电子枪是高分辨率显示管最重要的组成部分。高分辨率电子枪还可用于X射线管，电子显微镜等领域。

发明内容

本发明旨在提供一种大口径高分辨率电子枪结构。电子枪由灯丝、阴极、调制极、加速极、聚焦极、阳极组成。通过扩大聚焦极和阳极孔径，在聚焦极上增加限流膜孔，达到减小像差和提高分辨率的目的。

为了实现上述目的，本发明采取的技术方案为：

一种大口径高分辨率电子枪，该电子枪包括发射系统、预透镜系统、主透镜系统，所述发射系统、预透镜系统、主透镜系统依次连接，所述主透镜系统设有用于截获电子束边缘的电子的限流膜片，所述预透镜系统与主透镜系统通过零件配合焊接在一起。

所述发射系统包括灯丝和阴极，所述预透镜系统包括调制极、加速极，所述灯丝和阴极连接，灯丝和阴极设置在调制极内部，阴极、调制极、加速极通过玻封焊与玻璃芯杆焊接在一起，灯丝、阴极、调制极同一轴线，所述调制极在轴线位置设有通孔。

所述主透镜系统包括聚焦极、阳极组成；聚焦极、阳极通过玻封焊与玻璃芯杆焊接在一起，聚焦极、阳极的轴线与发射系统、预透镜系统同一轴线。

所述用于截获电子束边缘的电子的限流膜片设置在聚焦极内部，限流膜片的中心孔的轴线与聚焦极、阳极的轴线为同一轴线，所述限流膜片中心孔直径根据最终需要的电子束电流、直径而定，中心孔直径越小，截获电流越大，通过的电子束电流越小，直径越小。优选的，限流膜片中心孔直径为聚焦极的十分之一或五分之一。

所述聚焦极包括基础聚焦极和扩大聚焦极，所述扩大聚焦极的直径是基础聚焦极的2倍，所述限流膜片设置在基础聚焦极和扩大聚焦极的连接处。

所述基础聚焦极和扩大聚焦极的电压不同、聚焦点位置不同。聚焦电压较低时，聚焦点靠近阴极，聚焦电压较高时，聚焦点远离阴极。所述聚焦极工作在高电位，与阳极电位保持比例关系。所述聚焦极和阳极孔径大于聚焦极和阳极之间的距离。所述聚焦极部分与阳极直径方向一致，通过玻封焊与玻璃芯杆焊接在一起。电极之间的距离根据真空耐压要求进行设定。

本本发明有益效果：本发明通过在聚焦极内，装有限流膜片，电子束边缘的电子被限流膜片截获，提高分辨率。通过设置限流膜片中心孔越小，截获的电流越多，通过的电流越小，分辨率越高；聚焦极、阳极相邻的聚焦区，孔径扩大，减小系统的像差，提高分辨率，孔径越大，像差越小，分辨率越高。聚焦极工作在较高电位，与阳极电位保持一定的比例关系；聚焦极电压不同。聚焦点位置不同，达到减小像差和提高分辨率的目的。

附图说明

本说明书包括以下附图，所示内容分别是：

图1是本发明的灯丝、阴极、调制极、加速极组成的预聚焦系统；

图2是本发明实施例1的聚焦极、阳极组成的主透镜系统；

图3是本发明实施例2的聚焦极、阳极组成的主透镜系统；

图4是电子枪结构整体图。