[发明专利]工业用机器人在审
申请号: | 201611166866.5 | 申请日: | 2016-12-14 |
公开(公告)号: | CN106920765A | 公开(公告)日: | 2017-07-04 |
发明(设计)人: | 北原康行;金子健一郎 | 申请(专利权)人: | 日本电产三协株式会社 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;B25J11/00 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司31100 | 代理人: | 沈捷 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种工业用机器人,其能够对组装并使用有工业用机器人的半导体制造系统等制造系统的节拍时间进行缩短。工业用机器人(1)具有四个手(3~6);以及手(3~6)能够转动地连接到末端侧的臂(7),手(3~6)以手(3~6)的基端侧在上下方向上重叠的方式连接到臂(7)且能够分别相对于臂(7)转动。手(3~6)中的配置在最上面的手(3)以及配置在由上往下数第二个的手(4)的保持搬运对象物(2)的保持部(30)包括具有供搬运对象物(2)的端面抵接的抵接面的端面抵接部件;以及以搬运对象物(2)的端面按压于抵接面的方式按压搬运对象物(2)的按压机构。余下的两个手(5、6)的保持搬运对象物(2)的保持部(45)具有吸引并保持搬运对象物(2)的吸引孔(46)。 | ||
搜索关键词: | 工业 机器人 | ||
【主权项】:
一种工业用机器人,其特征在于,具有:四个手,四个所述手供搬运对象物装设;臂,四个所述手能够转动地连接到所述臂的末端侧;以及本体部,所述臂的基端侧能够转动地连接到所述本体部,四个所述手具有保持所述搬运对象物的保持部,且以四个所述手的基端侧在上下方向上重叠的方式连接到所述臂,并且能够分别相对于所述臂转动,如果将四个所述手中的配置在最上面的所述手和配置在由上往下数第二个所述手作为一对第一手,将剩余的两个所述手作为一对第二手,则构成所述一对第一手以及所述一对第二手中的一方的两个所述手的所述保持部具有:端面抵接部件,所述端面抵接部件具有供所述搬运对象物的端面抵接的抵接面;以及按压机构,所述按压机构以所述搬运对象物的端面安装于所述抵接面的方式按压所述搬运对象物,构成所述一对第一手以及所述一对第二手中的另一方的两个所述手的所述保持部具有吸引孔,所述吸引孔吸引并保持所述搬运对象物。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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