[发明专利]检查装置在审
| 申请号： | 201611100049.X | 申请日： | 2016-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN106970082A | 公开（公告）日： | 2017-07-21 |
| 发明（设计）人： | 伊藤优作;久木田瑠璃子;矢野紘英;谷本宙一 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/95;G01N21/47;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司11127 | 代理人： | 李辉,于靖帅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供检查装置，能够缩短被检查物的检查所需要的时间。一种检查装置(2)，其对板状的被检查物(11)进行检查，该检查装置(2)包含被检查物保持单元(6)，其具有对被检查物进行保持的保持面(6a)；缺陷检测单元(8)，其根据照射到被检查物的面(11a)上的激光光线(21)的散射光(23)而对面内的缺陷进行检测；以及三维测量单元(10)，其对包含有缺陷检测单元所检测到的缺陷在内的区域进行三维拍摄而进行再评价。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 | ||
【主权项】：
一种检查装置，其对板状的被检查物进行检查，其特征在于，该检查装置具有：被检查物保持单元，其具有对该被检查物进行保持的保持面；缺陷检测单元，其根据照射到该被检查物的面上的激光光线的散射光而对该面内的缺陷进行检测；以及三维测量单元，其对包含有该缺陷检测单元所检测到的该缺陷在内的区域进行三维拍摄而进行再评价。
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