[发明专利]检查装置在审
| 申请号： | 201611100049.X | 申请日： | 2016-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN106970082A | 公开（公告）日： | 2017-07-21 |
| 发明（设计）人： | 伊藤优作;久木田瑠璃子;矢野紘英;谷本宙一 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/95;G01N21/47;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司11127 | 代理人： | 李辉,于靖帅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 检查 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种检查装置，其对板状的被检查物进行检查，其特征在于，该检查装置具有：
被检查物保持单元，其具有对该被检查物进行保持的保持面；
缺陷检测单元，其根据照射到该被检查物的面上的激光光线的散射光而对该面内的缺陷进行检测；以及
三维测量单元，其对包含有该缺陷检测单元所检测到的该缺陷在内的区域进行三维拍摄而进行再评价。
2.一种检查装置，其对板状的被检查物进行检查，其特征在于，该检查装置具有：
被检查物保持单元，其具有对该被检查物进行保持的保持面；
缺陷检测单元，其在明视野或暗视野下对该被检查物的面进行拍摄而对该面内的缺陷进行检测；以及
三维测量单元，其对包含有该缺陷检测单元所检测到的该缺陷在内的区域进行三维拍摄而进行再评价。
3.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，
该缺陷检测单元在该散射光的光强度超过预先设定的阈值的情况下判定为存在该缺陷。
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