[发明专利]钛钨合金的蚀刻液有效
| 申请号： | 201611088007.9 | 申请日： | 2016-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN108130535B | 公开（公告）日： | 2020-04-14 |
| 发明（设计）人： | 张孝羽;黄芊宁;洪秋明;钟时俊 | 申请（专利权）人： | 添鸿科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/26 | 分类号： | C23F1/26 |
| 代理公司： | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人： | 翟羽 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种钛钨合金的蚀刻液，所述钛钨合金的蚀刻液包含a)10～32重量百分比的氧化剂、b)1.32～6.78重量百分比的pH调整剂、c)0.1～14重量百分比的铜腐蚀抑制剂、d)2～14重量百分比的pH缓冲剂及e)35～66重量百分比的水。本发明是通过将pH缓冲剂加入于钛钨合金的蚀刻液中，使得在钛钨合金的蚀刻期间可以有效地减缓蚀刻液pH值的降低，故蚀刻液不会因为pH值的降低而腐蚀铜金属。 | ||
| 搜索关键词： | 合金 蚀刻 | ||
【主权项】：
一种钛钨合金的蚀刻液，用于蚀刻钛钨合金且在蚀刻期间抑制铜金属的腐蚀，所述钛钨合金的蚀刻液包括：10～32重量百分比的氧化剂；1.32～6.78重量百分比的pH调整剂；0.1～14重量百分比的铜腐蚀抑制剂；2～14重量百分比的pH缓冲剂；以及35～66重量百分比的水。
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