[发明专利]薄膜晶体管基板、显示器及其制造方法

摘要

薄膜晶体管基板、显示器及其制造方法。本公开涉及一种在同一基板上具有两种不同类型的薄膜晶体管的薄膜晶体管基板以及使用该基板的显示器。本公开提出一种薄膜晶体管基板，包括：第一薄膜晶体管，其被设置为包括多晶半导体层、在多晶半导体层上的第一栅极、第一源极和第一漏极；第一栅极绝缘层，其在多晶半导体层和第一栅极之间；第二薄膜晶体管，其被设置为包括在第一栅极上的氧化物半导体层、在氧化物半导体层上的第二栅极、第二源极和第二漏极；中间绝缘层，其被设置在第一栅极上氧化物半导体层下面；以及第二栅极绝缘层，其在中间绝缘层上第一源极、第一漏极和第二栅极下面。

主权项

一种薄膜晶体管基板，该薄膜晶体管基板包括：第一薄膜晶体管，该第一薄膜晶体管被设置为包括多晶半导体层、在所述多晶半导体层上的第一栅极、第一源极和第一漏极；第一栅极绝缘层，该第一栅极绝缘层在所述多晶半导体层和所述第一栅极之间；第二薄膜晶体管，该第二薄膜晶体管被设置为包括在所述第一栅极上的氧化物半导体层、在所述氧化物半导体层上的第二栅极、第二源极和第二漏极；中间绝缘层，该中间绝缘层被设置在所述第一栅极上且在所述氧化物半导体层下面；以及第二栅极绝缘层，该第二栅极绝缘层在所述中间绝缘层上且在所述第一源极、所述第一漏极和所述第二栅极下面。