[发明专利]考虑复杂着色规则的多重图案化布局分解有效
| 申请号： | 201611054776.7 | 申请日： | 2016-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN107025320B | 公开（公告）日： | 2022-01-11 |
| 发明（设计）人： | 常华宇 | 申请（专利权）人： | 新思科技有限公司 |
| 主分类号： | G06F30/392 | 分类号： | G06F30/392;G06F30/398;G03F1/70;G03F7/20;G06F111/04 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 杨生平;任庆威 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提出了一种用于分解集成电路的一部分的布局的计算机实现方法。该布局包括第一大量多边形。本方法包括使用计算机来构造表示第一大量约束的第一矩阵。第一大量约束中的每一个是在第一大量多边形中的不同的一对之间。本方法包括使用计算机来对第一矩阵求解以从而当计算机被调用以分解布局时向第一大量多边形中的每个不同的一个分配大量掩膜中的一个。 | ||
| 搜索关键词： | 考虑 复杂 着色 规则 多重 图案 布局 分解 | ||
【主权项】：
一种用于分解集成电路的一部分的布局的计算机实现方法，所述布局包括第一多个多边形，所述方法包括：使用计算机来构造表示第一多个约束的第一矩阵，所述第一多个约束中的每一个在所述第一多个多边形中的不同的一对之间；以及使用计算机对第一矩阵求解以从而当计算机被调用以分解布局时向所述第一多个多边形中的每个不同的一个分配多个掩膜中的一个。
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