[发明专利]考虑复杂着色规则的多重图案化布局分解

权利要求书

1.一种用于分解集成电路的一部分的布局的计算机实现方法，所述布局包括第一多个多边形，所述方法包括：

使用计算机来构造表示第一多个约束的第一矩阵，所述第一多个约束中的每一个在所述第一多个多边形中的不同的一对之间；以及

使用计算机对第一矩阵求解以从而当计算机被调用以分解布局时向所述第一多个多边形中的每个不同的一个分配多个掩膜中的一个；以及

第一矩阵以等于第一数目和第二数目的和的尺度为特征，其中，第一数目等于所述第一多个多边形的第一计数乘以所述多个掩膜的第二计数，以及其中，所述第二数目等于所述第一多个约束的第三计数乘以第二计数。

2.根据权利要求1所述的计算机实现方法，其中，所述多个掩膜中的每一个与多重图案化光刻相关联。

3.根据权利要求1所述的计算机实现方法，其中，所述第一多个约束中的每一个促使所述第一多个多边形中的所述一对被分配给所述多个掩膜中的不同的一些。

4.根据权利要求1所述的计算机实现方法，其中，所述布局包括第二多个多边形，所述方法还包括：

使用计算机来构造表示第二多个约束的第一矩阵，所述第二多个约束中的每一个不同于所述第一多个约束中的任何一个，

其中，所述第二多个约束中的每一个促使所述第二多个多边形中的一对被分配给所述多个掩膜中的不同的一些。

5.根据权利要求1所述的计算机实现方法，其中，所述第一矩阵是精确覆盖矩阵。

6.根据权利要求1所述的计算机实现方法，

其中，所述尺度包括整数值。

7.根据权利要求1所述的计算机实现方法，其中，所述第一矩阵包括第一多个行和具有与所述第一多个行不同的取向的多个列，其中，多个值中的一个与所述第一多个行中的一个与所述多个列中的一个之间的交叉点相关联，其中，所述多个值中的每一个是逻辑真值，其中，构造第一矩阵包括：

构造第二多个行，其中，所述第二多个行是所述第一多个行的子集，使得所述第二多个行中的每一个在所述多个列中的每一个中包含精确地一个逻辑真值。

8.根据权利要求1的所述计算机实现方法，还包括：

使用计算机将第一矩阵表示为舞蹈链数据结构以对第一矩阵求解。

9.根据权利要求1所述的计算机实现方法，还包括：

使用计算机来形成表示与布局相关联的图的数据，其中，所述图包括多个顶点和多个边，所述多个顶点中的每一个与所述第一多个多边形中的不同的一个相关联，所述多个边中的每一个与所述第一多个约束中的不同的一个相关联；

使用计算机来将图变换成第一矩阵，其中，所述第一矩阵包括第一多个列，其中，所述第一多个列中的每一个与所述第一多个多边形中的不同的一个相关联；以及

使用计算机来按照与图相关联的宽度优先搜索顺序访问所述第一多个列以对第一矩阵求解。

10.根据权利要求1所述的计算机实现方法，其中，所述第一矩阵包括第一多个行和具有与所述第一多个行不同的取向的多个列，

其中，多个值中的一个与所述第一多个行中的一个与所述多个列中的一个之间的交叉点相关联，

其中，所述多个值中的每一个是逻辑真值，所述方法还包括：

首先使用所述计算机来选择所述第一多个列中的一个，其在所述第一多个列中的选定的一个与所述第一多个行中的一个的交叉点处具有精确地一个逻辑真值，以对第一矩阵求解。