[发明专利]利用感应加热的蒸镀装置以及蒸镀系统有效
| 申请号： | 201610959727.1 | 申请日： | 2016-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN107043910B | 公开（公告）日： | 2020-06-12 |
| 发明（设计）人： | 朴善淳;李海龙;金荣道;池成勋;洪沅义 | 申请（专利权）人： | 株式会社达文希斯 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 姜虎;陈英俊 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种利用感应加热的蒸镀装置及蒸镀系统。本发明涉及的蒸镀装置(100)是利用感应加热的蒸镀装置(100)，其特征在于，包括腔室(110)及感应加热部(140)，通过感应加热部(140)对源基板(120)进行感应加热，并将形成在源基板(120)的至少一表面上的蒸镀物质层(125)蒸镀到与所述一表面相向配置的对象基板(130)上。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 感应 加热 装置 以及 系统 | ||
【主权项】：
一种蒸镀装置，该蒸镀装置利用感应加热进行蒸镀，其特征在于，包括腔室及感应加热部，通过所述感应加热部对源基板进行感应加热，并将形成在所述源基板的至少一表面上的蒸镀物质层蒸镀到与所述一表面相向配置的对象基板上。
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