[发明专利]抗蚀剂剥离液组合物、平板及其制造方法和显示装置有效
| 申请号： | 201610916985.1 | 申请日： | 2016-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN107239006B | 公开（公告）日： | 2020-09-01 |
| 发明（设计）人： | 高京俊;金正铉;崔汉永 | 申请（专利权）人： | 东友精细化工有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 钟晶;陈彦 |
| 地址： | 韩国全*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种抗蚀剂剥离液组合物、显示装置用平板及其制造方法和显示装置。所述抗蚀剂剥离液组合物包含(a)下述化学式1所表示的化合物和(b)碱系化合物，并且选择性地进一步包含上述(a)成分和(b)成分以外的(c)其他成分。下述化学式1中，n为1～3的整数；R |
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| 搜索关键词： | 抗蚀剂 剥离 组合 平板 及其 制造 方法 显示装置 | ||
【主权项】：
一种抗蚀剂剥离液组合物，其包含(a)下述化学式1所表示的化合物和(b)碱系化合物，并且选择性地进一步包含所述(a)成分和(b)成分以外的(c)其他成分，[化学式1]所述化学式1中，n为1～3的整数；R1和R2各自独立地为氢、C1～C10的烷基，或者为包含1～5个氧原子和2～10个碳原子且氧原子和碳原子形成醚键的基团；R3和R4不存在，或者各自独立地为C1～C5的烷氧基；C6～C12的芳基；被氨基或C1～C5的烷基取代或非取代的C6～C12的芳氧基；羟基；‑CN；或氨基。
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