[发明专利]抗蚀剂剥离液组合物、平板及其制造方法和显示装置

权利要求书

1.一种抗蚀剂剥离液组合物，其包含(a)下述化学式1所表示的化合物和(b)碱系化合物，并且选择性地进一步包含所述(a)成分和(b)成分以外的(c)其他成分，

[化学式1]

所述化学式1中，n为1～3的整数；

R₁和R₂各自独立地为氢、C1～C10的烷基，或者为包含1～5个氧原子和2～10个碳原子且氧原子和碳原子形成醚键的基团；

R₃和R₄不存在，或者各自独立地为C1～C5的烷氧基；C6～C12的芳基；被氨基或C1～C5的烷基取代或非取代的C6～C12的芳氧基；羟基；-CN；或氨基。

2.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，相对于组合物总重量，包含所述(a)化学式1所表示的化合物10～99.9重量％、(b)碱系化合物0.1～20重量％、及(c)其他成分0～70重量％。

3.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，所述(a)化学式1所表示的化合物为选自由双(2-乙氧基乙氧基)甲烷、双(2-甲氧基乙氧基)甲烷、双(2-丁氧基乙氧基)甲烷、1,13-二乙氧基-3,6,8,11-四氧杂-十三烷、1,13-二甲氧基-3,6,8,11-四氧杂-十三烷、甲醛[双-(2-苯氧基乙基)乙缩醛]、4-(2-((2-乙氧基乙氧基)甲氧基)乙氧基)苯胺、甲醛[双(2-邻甲苯氧基乙基)乙缩醛]、2,4,7,9,12,14-六氧杂十五烷、3,6,9,12,15,18,21,24-八氧杂二十五烷醇、甲醛[双(2-异丙氧基乙基)乙缩醛]、4,4’-(2,2’-亚甲基双(氧基)双(乙烷-2,1-二基)双(氧基))二苯胺、4,7,9,12,14,17-六氧杂二十烷-1,20-二腈、1-苯基-2,5,7,10-四氧杂十一烷和3,6,8,11-四氧杂十三烷-1,13-二胺组成的组中的一种以上。

4.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，所述(b)碱系化合物是选自由KOH、NaOH、四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵、碳酸盐、磷酸盐、氨和胺类组成的组中的一种或两种以上。

5.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，进一步包含选自水溶性极性溶剂和水中的一种以上作为所述(c)其他成分。

6.根据权利要求5所述的抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，相对于组合物总重量，包含所述(a)化学式1所表示的化合物10～98重量％、(b)碱系化合物0.1～20重量％、及余量的作为(c)其他成分的选自水溶性极性溶剂和水中的一种以上。

7.根据权利要求5所述的抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，所述水溶性极性溶剂单独或混合使用除了多元醇以外的质子性极性溶剂和非质子性极性溶剂。

8.一种显示装置用平板的制造方法，其特征在于，包括使用权利要求1所述的抗蚀剂剥离液组合物来剥离平板用基板的抗蚀剂的工序。