[发明专利]衬底处理装置

摘要

本发明涉及一种衬底处理装置，且更具体而言，涉及一种能够改善衬底的整个表面上的工艺均匀性的衬底处理装置。所述衬底处理装置包括：衬底舟，衬底装载在所述衬底舟中；反应管，在所述反应管中对装载于所述衬底舟中的所述衬底执行处理工艺；气体供应单元，用以经由安置于所述反应管的一侧上的喷射喷嘴将工艺气体供应至所述反应管中；加热单元，包括多个垂直加热部件，所述多个垂直加热部件在所述反应管外部沿所述反应管的圆周安置且用以将所述反应管的圆周划分成多个部分，以对所述反应管的所划分的多个部分中的每一个进行独立加热；以及控制单元，用以控制所述加热单元。

主权项

1.一种衬底处理装置，其特征在于，包括：衬底舟，衬底装载于所述衬底舟中；反应管，在所述反应管中对装载于所述衬底舟中的所述衬底执行处理工艺；气体供应单元，用以经由安置于所述反应管的一侧上的喷射喷嘴将工艺气体供应至所述反应管中；加热单元，包括多个垂直加热部件，所述多个垂直加热部件在所述反应管外部沿所述反应管的圆周安置且用以将所述反应管的所述圆周划分成多个部分，以对所述反应管的所划分的所述多个部分中的每一个进行独立加热；以及控制单元，用以控制所述加热单元，其中所述多个垂直加热部件包括：第一垂直加热部件，安置于与所述喷射喷嘴对应的位置；以及第二垂直加热部件，自所述第一垂直加热部件的一侧沿所述反应管的所述圆周延伸至所述第一垂直加热部件的另一侧，其中所述多个垂直加热部件各自对在所述反应管的内部空间中的所述喷射喷嘴对应的区以及具有相同高度的其它区进行独立加热，且其中所述控制单元用以控制所述喷射喷嘴对应的所述区，所述喷射喷嘴对应的所述区具有大于具有相同高度的所述其它区的气体分压，以具有低于具有相同高度的所述其它区的温度。