[发明专利]感测装置及其制造方法

摘要

本发明提供一种感测装置及其制造方法，该制造方法包括提供一第一基底，第一基底具有一第一表面及与其相对的一第二表面，且一感测区邻近于第一表面；在第一表面上提供一暂时性盖板，以覆盖感测区；在第二表面上形成一重布线层，重布线层电性连接至感测区；在形成重布线层之后，去除暂时性盖板；在去除暂时性盖板之后，将第一基底接合至一第二基底及一盖板，使得第一基底位于第二基底与盖板之间；重布线层电性连接至第二基底；在第二基底与盖板之间填入一封胶层，以环绕第一基底。本发明提供了简化的制程，可有效降低制造成本及缩小感测装置的尺寸，且有利于提供感测装置平坦的感测表面。

主权项

一种感测装置的制造方法，其特征在于，包括：提供第一基底，其中该第一基底具有第一表面及与该第一表面相对的第二表面，且感测区邻近于该第一表面；在该第一表面上提供暂时性盖板，以覆盖该感测区；在该第二表面上形成重布线层，其中该重布线层电性连接至该感测区；在形成该重布线层之后，去除该暂时性盖板；在去除该暂时性盖板之后，将该第一基底接合至第二基底及盖板，使得该第一基底位于该第二基底与该盖板之间，其中该重布线层电性连接至该第二基底；以及在该第二基底与该盖板之间填入封胶层，以环绕该第一基底。