[发明专利]激光光斑测量系统及方法有效
| 申请号： | 201610848411.5 | 申请日： | 2016-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN107869956B | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 蓝科;王诗华 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01B11/24 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种激光光斑测量系统及方法，所述激光光斑测量系统包括测量装置和中继装置，所述中继装置设置在所述测量装置上，并能够在所述测量装置上垂向移动，其中，所述中继装置包括：透镜和成像单元。先将所述中继装置在所述测量装置上的已知位置设置为基准高度，再通过整体垂向移动所述中继装置，使激光光斑在感光面上清晰成像，所述测量装置测量出所述中继装置相对于基准高度移动的距离，即激光光斑最佳焦面的高度值。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 光斑 测量 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种激光光斑测量系统，其特征在于，包括测量装置和中继装置，所述中继装置设置在所述测量装置上，并能够在所述测量装置上垂向移动，其中，所述中继装置包括：透镜，用于将激光光斑成像；成像单元，用于接收并输出通过所述透镜所形成的图像。
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