[发明专利]激光光斑测量系统及方法有效
| 申请号： | 201610848411.5 | 申请日： | 2016-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN107869956B | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 蓝科;王诗华 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01B11/24 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 激光 光斑 测量 系统 方法 | ||
1.一种激光光斑测量系统，其特征在于，包括测量装置和中继装置，所述中继装置设置在所述测量装置上，并能够在所述测量装置上垂向移动，其中，所述中继装置包括：
透镜，用于将激光光斑成像；
成像单元，用于接收并输出通过所述透镜所形成的图像。
2.如权利要求1所述的激光光斑测量系统，其特征在于，所述成像单元包括感光面。
3.如权利要求1所述的激光光斑测量系统，其特征在于，所述中继装置还包括带有基准标记的基准板。
4.如权利要求3所述的激光光斑测量系统，其特征在于，所述基准标记位于所述基准板的标记面。
5.如权利要求4所述的激光光斑测量系统，其特征在于，所述标记面在所述基准板的上表面或下表面。
6.如权利要求5所述的激光光斑测量系统，其特征在于，所述标记面与所述感光面为共轭关系。
7.如权利要求1所述的激光光斑测量系统，其特征在于，所述成像单元为轮廓仪或者CCD。
8.如权利要求1所述的激光光斑测量系统，其特征在于，所述中继装置还包括分光板，用于减弱所述激光光斑的能量。
9.一种基于权利要求1所述的激光光斑测量系统的激光光斑测量方法，包括如下步骤：
在测量装置上设置中继装置的基准高度；
移动所述中继装置，使被测激光光斑在成像单元上成像清晰；
计算出激光光斑最佳焦面的垂向高度值。
10.如权利要求9所述的激光光斑测量方法，其特征在于，在测量装置上设置中继装置的基准高度是将一个已知位置定为基准高度。
11.如权利要求9所述的激光光斑测量方法，其特征在于，移动所述中继装置是将所述中继装置作为整体垂向移动。
12.如权利要求9所述的激光光斑测量方法，其特征在于，计算出激光光斑最佳焦面的垂向高度值是指，相对于所述基准高度，测量出所述中继装置在所述测量装置上移动的距离。
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