[发明专利]阳极氧化膜结构切割方法及单元阳极氧化膜结构有效
| 申请号： | 201610836129.5 | 申请日： | 2016-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN107017294B | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 安范模;朴胜浩;边圣铉 | 申请（专利权）人： | 普因特工程有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/78 | 分类号： | H01L29/78;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 陈建芳;阎娬斌 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种阳极氧化膜结构切割方法。所述方法包括：通过沿预定切割线蚀刻具有多个阳极氧化孔隙的阳极氧化膜的一个表面而形成蚀刻的凹槽并且通过加大位于蚀刻的凹槽的内底面上的阳极氧化孔隙的入口而形成直径增加的孔隙的蚀刻步骤；以及沿蚀刻的凹槽切割阳极氧化膜的切割步骤。还提供了一种通过所述切割方法产生的单元阳极氧化膜结构。 | ||
| 搜索关键词： | 阳极 氧化 膜结构 切割 方法 单元 | ||
【主权项】：
一种阳极氧化膜结构切割方法，包括：通过沿预定切割线蚀刻具有多个阳极氧化孔隙的阳极氧化膜的一个表面而形成蚀刻的凹槽并且通过加大位于蚀刻的凹槽的内底面上的阳极氧化孔隙的入口而形成直径增加的孔隙的蚀刻步骤；以及沿蚀刻的凹槽切割阳极氧化膜的切割步骤。
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