[发明专利]阳极氧化膜结构切割方法及单元阳极氧化膜结构有效
| 申请号： | 201610836129.5 | 申请日： | 2016-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN107017294B | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 安范模;朴胜浩;边圣铉 | 申请（专利权）人： | 普因特工程有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/78 | 分类号： | H01L29/78;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 陈建芳;阎娬斌 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 阳极 氧化 膜结构 切割 方法 单元 | ||
【权利要求书】：
1.一种单元阳极氧化膜结构，包括：
主体部分，该主体部分具有垂直地形成在其中的多个阳极氧化孔隙；
具有阶梯差的阶梯部分，该阶梯部分形成为围绕所述主体部分的外周，其中，所述阶梯部分的上表面被定位成低于所述主体部分的上表面；
形成在所述主体部分的所述上表面上的电极；以及
形成在所述阶梯部分的所述上表面上的多个直径增加的孔隙，所述直径增加的孔隙的入口的直径大于形成在所述主体部分的所述上表面上的阳极氧化孔隙的入口的直径，并且形成在所述阶梯部分的所述上表面上的所述直径增加的孔隙的所述入口中的至少一些彼此连接以形成空间，其中，所述直径增加的孔隙和所述空间用于减轻作用在横向方向上的外部应力。
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